ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานของฟิล์มโลหะจะแตกต่างกันไปตามความหนาของฟิล์ม ฟิล์มบางมีค่าเป็นลบ ฟิล์มหนามีค่าเป็นบวก และฟิล์มหนาขึ้นจะมีลักษณะคล้ายกับวัสดุจำนวนมากแต่ไม่เหมือนกัน โดยทั่วไป ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานจะเปลี่ยนจากลบเป็นบวกเมื่อความหนาของฟิล์มเพิ่มขึ้นเป็นสิบนาโนเมตร
นอกจากนี้ อัตราการระเหยยังส่งผลต่อค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิต้านทานของฟิล์มโลหะอีกด้วย อัตราการระเหยต่ำที่เตรียมโดยชั้นฟิล์มนั้นหลวม อิเล็กตรอนข้ามกำแพงศักย์ไฟฟ้าและความสามารถในการผลิตสภาพนำไฟฟ้าอ่อน ประกอบกับการออกซิเดชันและการดูดซับ ดังนั้นค่าความต้านทานจึงสูง ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิต้านทานมีขนาดเล็กหรือแม้กระทั่งเป็นลบ เมื่ออัตราการระเหยเพิ่มขึ้น ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิต้านทานของความต้านทานจะเปลี่ยนแปลงเล็กน้อยจากมาก จากลบเป็นบวก เนื่องมาจากอัตราการระเหยต่ำของฟิล์มที่เตรียมเนื่องจากออกซิเดชันของคุณสมบัติของเซมิคอนดักเตอร์ ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิต้านทานมีค่าเป็นลบ ฟิล์มที่เตรียมด้วยอัตราการระเหยสูงมักมีคุณสมบัติเป็นโลหะและมีค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิต้านทานเป็นบวก
เนื่องจากโครงสร้างของฟิล์มเปลี่ยนแปลงอย่างถาวรตามอุณหภูมิ ค่าสัมประสิทธิ์ความต้านทานและอุณหภูมิความต้านทานของฟิล์มจึงเปลี่ยนแปลงตามอุณหภูมิของชั้นเคลือบในระหว่างการระเหย และยิ่งฟิล์มบางลง การเปลี่ยนแปลงก็จะรุนแรงมากขึ้น ซึ่งถือได้ว่าเป็นผลจากการเปลี่ยนแปลงทางเคมีที่เกิดจากการระเหยซ้ำและการกระจายตัวใหม่ของอนุภาคของฟิล์มเกาะโดยประมาณหรือโครงสร้างท่อบนพื้นผิว รวมถึงการกระจัดกระจายของโครงตาข่าย การกระจัดกระจายของสิ่งเจือปน การกระจัดกระจายของข้อบกพร่องของโครงตาข่าย และการเกิดออกซิเดชัน
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศr กวางตุ้ง Zhenhua
เวลาโพสต์ : 18 ม.ค. 2567