บทนำสู่การสะสมลำแสงไอออนโดยตรง

การสะสมลำแสงไอออนโดยตรงเป็นการสะสมแบบหนึ่งที่มีลำแสงไอออนเข้ามาช่วย การสะสมลำแสงไอออนโดยตรงเป็นการสะสมด้วยลำแสงไอออนที่ไม่แยกมวล เทคนิคนี้ใช้ครั้งแรกในการผลิตฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรในปี 1971 โดยอาศัยหลักการที่ว่าส่วนหลักของแคโทดและแอโนดของแหล่งกำเนิดไอออนทำจากคาร์บอน

ก๊าซที่ไวต่อการสัมผัสจะถูกนำเข้าไปในห้องปล่อยประจุ และสนามแม่เหล็กภายนอกจะถูกเพิ่มเข้าไปเพื่อทำให้เกิดการปล่อยประจุพลาสมาภายใต้สภาวะที่มีแรงดันต่ำ โดยอาศัยเอฟเฟกต์การสปัตเตอร์ของไอออนบนอิเล็กโทรดเพื่อผลิตไอออนคาร์บอน ไอออนคาร์บอนและไอออนหนาแน่นในพลาสมาถูกเหนี่ยวนำเข้าไปในห้องสะสมในเวลาเดียวกัน และพวกมันถูกเร่งให้ถูกฉีดลงบนสารตั้งต้นเนื่องจากแรงดันอคติเชิงลบบนสารตั้งต้น

ผลการทดสอบพบว่าไอออนคาร์บอนมีพลังงาน 50~100eV ที่ห้องอุณหภูมิใน Si, NaCI, KCI, Ni และสารตั้งต้นอื่น ๆ ในการเตรียมฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรโปร่งใส มีค่าต้านทานสูงถึง 10Q-cm ดัชนีหักเหของแสงประมาณ 2 ไม่ละลายในกรดอนินทรีย์และกรดอินทรีย์ มีความแข็งสูงมาก

——บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว