ส่วนประกอบของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศโดยทั่วไปประกอบด้วยส่วนประกอบหลักหลายชิ้น โดยแต่ละชิ้นมีหน้าที่เฉพาะของตัวเองที่ทำงานร่วมกันเพื่อให้เกิดการสะสมฟิล์มที่มีประสิทธิภาพและสม่ำเสมอ ด้านล่างนี้คือคำอธิบายของส่วนประกอบหลักและหน้าที่ของส่วนประกอบเหล่านี้:

ส่วนประกอบหลัก
ห้องสูญญากาศ:
ฟังก์ชัน: สร้างสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันต่ำหรือสุญญากาศสูงเพื่อป้องกันไม่ให้วัสดุเคลือบทำปฏิกิริยากับสิ่งสกปรกในอากาศในระหว่างการระเหยหรือการสปัตเตอร์ ช่วยให้แน่ใจถึงความบริสุทธิ์และคุณภาพของฟิล์ม
โครงสร้าง: มักทำจากเหล็กสเตนเลสหรืออลูมิเนียมที่มีความแข็งแรงสูง โดยการออกแบบภายในคำนึงถึงการกระจายการไหลเวียนของอากาศและความสะดวกในการวางพื้นผิว
ระบบปั๊มสุญญากาศ :
ฟังก์ชัน: ใช้ในการสูบแก๊สภายในห้องสุญญากาศเพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศตามต้องการ
ประเภท: รวมทั้งปั๊มเชิงกล (เช่น ปั๊มใบพัดหมุน) ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล ปั๊มกระจาย และปั๊มไอออน
แหล่งกำเนิดการระเหยหรือการสปัตเตอร์:
ฟังก์ชัน: ให้ความร้อนและระเหยวัสดุเคลือบจนกลายเป็นไอหรือพลาสมาในสุญญากาศ
ประเภท: รวมถึงแหล่งความร้อนด้วยความต้านทาน แหล่งการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน แหล่งการสปัตเตอร์แมกนีตรอน และแหล่งการระเหยด้วยเลเซอร์ เป็นต้น
กลไกยึดพื้นผิวและการหมุน:
ฟังก์ชัน: ยึดพื้นผิวและดูแลให้วัสดุเคลือบเกาะติดบนพื้นผิวของพื้นผิวอย่างสม่ำเสมอด้วยการหมุนหรือการแกว่ง
การก่อสร้าง: โดยทั่วไปจะประกอบด้วยแคลมป์ปรับได้และกลไกหมุน/แกว่งเพื่อรองรับวัสดุพิมพ์ที่มีรูปร่างและขนาดต่างกัน
ระบบจ่ายไฟและควบคุม :
ฟังก์ชัน: จ่ายพลังงานให้กับแหล่งระเหย แหล่งสปัตเตอร์ และอุปกรณ์อื่นๆ และควบคุมพารามิเตอร์ของกระบวนการเคลือบโดยรวม เช่น อุณหภูมิ สุญญากาศ และเวลา
ส่วนประกอบ: ได้แก่ แหล่งจ่ายไฟ แผงควบคุม ระบบควบคุมคอมพิวเตอร์ และเซ็นเซอร์ตรวจสอบ
ระบบจ่ายก๊าซ (สำหรับอุปกรณ์เคลือบสปัตเตอร์) :
หน้าที่: จ่ายก๊าซเฉื่อย (เช่น อาร์กอน) หรือก๊าซที่มีปฏิกิริยา (เช่น ออกซิเจน ไนโตรเจน) เพื่อรักษาพลาสมาหรือเข้าร่วมในปฏิกิริยาเคมีเพื่อสร้างฟิล์มบางเฉพาะ
ส่วนประกอบ: ประกอบด้วยถังแก๊ส ตัวควบคุมการไหล และท่อส่งแก๊ส
ระบบระบายความร้อน :
ฟังก์ชั่น: ทำความเย็นแหล่งระเหย แหล่งสปัตเตอร์ และห้องสูญญากาศเพื่อป้องกันไม่ให้เกิดความร้อนมากเกินไป
ประเภท: รวมถึงระบบระบายความร้อนด้วยน้ำและระบบระบายความร้อนด้วยอากาศ เป็นต้น
ระบบติดตามและตรวจจับ:
ฟังก์ชัน: การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ของพารามิเตอร์ที่สำคัญในกระบวนการเคลือบ เช่น ความหนาของฟิล์ม อัตราการสะสม สุญญากาศ และอุณหภูมิ เพื่อให้แน่ใจถึงคุณภาพของการเคลือบ
ประเภท: รวมถึงเครื่องชั่งน้ำหนักแบบไมโครบาลานซ์คริสตัลควอตซ์ เครื่องตรวจสอบความหนาแบบแสง และเครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง ฯลฯ
อุปกรณ์ป้องกัน:
ฟังก์ชัน: รับประกันความปลอดภัยของผู้ปฏิบัติงานและอุปกรณ์จากอันตรายที่เกิดจากอุณหภูมิสูง แรงดันไฟฟ้าสูง หรือสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
ส่วนประกอบ: รวมถึงการ์ด ปุ่มหยุดฉุกเฉิน และระบบล็อคเพื่อความปลอดภัย เป็นต้น
สรุป.
อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศช่วยให้เกิดกระบวนการเคลือบฟิล์มบางคุณภาพสูงผ่านการทำงานร่วมกันของส่วนประกอบเหล่านี้ เครื่องจักรเหล่านี้มีบทบาทสำคัญในการเตรียมฟิล์มบางแบบออปติคอล อิเล็กทรอนิกส์ ตกแต่ง และใช้งานได้จริง

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว