Бо рушди афзояндаи технологияи рӯйпӯшкунии пошидан, махсусан технологияи пошидани пошидани магнетрон, дар айни замон, барои ҳама гуна мавод метавонад тавассути плёнкаи ҳадафи бомбаборони ионӣ омода карда шавад, зеро ҳадаф ҳангоми пӯшидани он ба ягон намуди субстрат пошида мешавад, сифати филми пошидашуда таъсири муҳим дорад, аз ин рӯ, талаботи маводи мавриди ҳадаф низ сахттар аст. Ҳангоми интихоби маводи мақсаднок, ба ғайр аз истифодаи худи филм, бояд масъалаҳои зеринро низ баррасӣ кард:
1. Маводи мавриди ҳадаф бояд пас аз ташаккули филм устувории хуби механикӣ ва устувории кимиёвӣ дошта бошад
2. Ҳадаф ва комбинатсияи оксиген бояд қавӣ бошад, дар акси ҳол, бояд бо оксиген гирифта, дорои омезиши хуби маводи мембрана, аввал sputtering як филми пойгоҳи ва сипас омода намудани қабати мембранаи зарурӣ.
3 ҳамчун реаксия маводи мембранаи sputtering бояд осон ба реаксия бо газ барои тавлиди пайвастагиҳои мембрана бошад; 4.
4. Дар заминаи қонеъ гардонидани талаботи иҷрои мембрана, фарқияти байни коэффисиенти васеъшавии гармии маводи мақсаднок ва оксиген то ҳадди имкон камтар аст, то таъсири фишори гармӣ ба мембранаи пошидашуда кам карда шавад.
Таъсири фишори гармии филми пошидан; 5.
5. Мувофиқи талаботҳои истифода ва иҷрои мембрана, маводи мавриди ҳадаф бояд ба покӣ, мундариҷаи наҷосат, якрангии ҷузъҳо, дақиқии коркард ва дигар талаботҳои техникӣ ҷавобгӯ бошад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: Декабр-21-2023