Пӯшидани вакууми пошидан дастгоҳест, ки барои гузоштани филмҳои тунуки мавод ба субстрат истифода мешавад. Ин раванд одатан дар истеҳсоли нимноқилҳо, ҳуҷайраҳои офтобӣ ва намудҳои гуногуни рӯйпӯшҳо барои барномаҳои оптикӣ ва электронӣ истифода мешавад. Ин аст шарҳи асосии он, ки чӣ тавр кор мекунад:
Палатаи 1.Вакуум: Ин раванд дар дохили як камераи вакуумӣ сурат мегирад, то ифлосшавиро кам кунад ва барои назорати беҳтар аз болои раванди таҳшин имкон диҳад.
2.Маводи Ҳадаф: Маводи гузошташуда ҳамчун ҳадаф маълум аст. Он дар дохили камераи вакуум ҷойгир карда мешавад.
3.Субстрат: Субстрат маводест, ки дар он филми тунук гузошта мешавад. Он инчунин дар дохили камераи вакуумӣ ҷойгир карда мешавад.
4.Насли плазма: Гази инертӣ, маъмулан аргон, ба камера ворид карда мешавад. Ба ҳадаф шиддати баланд дода мешавад, ки плазма (ҳолати материя, ки аз электронҳо ва ионҳои озод иборат аст) ба вуҷуд меорад.
5. Парокандашавӣ: Ионҳо аз плазма бо маводи мавриди ҳадаф бархӯрда, атомҳо ё молекулаҳоро аз ҳадаф дур мекунанд. Сипас ин зарраҳо тавассути вакуум ҳаракат мекунанд ва ба субстрат ҷойгир шуда, як филми тунукро ташкил медиҳанд.
6.Control: Ғафсӣ ва таркиби филмро тавассути танзими параметрҳо ба монанди қудрати ба ҳадаф истифодашаванда, фишори гази инертӣ ва давомнокии раванди пошидан ба таври дақиқ назорат кардан мумкин аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: июл-12-2024