స్పట్టరింగ్ వాక్యూమ్ కోటర్ అనేది ఒక ఉపరితలంపై సన్నని పొరల పదార్థాన్ని జమ చేయడానికి ఉపయోగించే పరికరం. ఈ ప్రక్రియను సాధారణంగా సెమీకండక్టర్లు, సౌర ఘటాలు మరియు ఆప్టికల్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ అనువర్తనాల కోసం వివిధ రకాల పూతల ఉత్పత్తిలో ఉపయోగిస్తారు. ఇది ఎలా పనిచేస్తుందో ఇక్కడ ప్రాథమిక అవలోకనం ఉంది:
1. వాక్యూమ్ చాంబర్: కాలుష్యాన్ని తగ్గించడానికి మరియు నిక్షేపణ ప్రక్రియపై మెరుగైన నియంత్రణను అనుమతించడానికి ఈ ప్రక్రియ వాక్యూమ్ చాంబర్ లోపల జరుగుతుంది.
2.లక్ష్య పదార్థం: జమ చేయవలసిన పదార్థాన్ని లక్ష్యం అంటారు. దీనిని వాక్యూమ్ చాంబర్ లోపల ఉంచుతారు.
3. సబ్స్ట్రేట్: సన్నని పొరను నిక్షేపించే పదార్థం సబ్స్ట్రేట్. ఇది వాక్యూమ్ చాంబర్ లోపల కూడా ఉంచబడుతుంది.
4. ప్లాస్మా జనరేషన్: ఒక జడ వాయువు, సాధారణంగా ఆర్గాన్, చాంబర్లోకి ప్రవేశపెట్టబడుతుంది. లక్ష్యానికి అధిక వోల్టేజ్ వర్తించబడుతుంది, ఇది ప్లాస్మా (స్వేచ్ఛా ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అయాన్లతో కూడిన పదార్థ స్థితి)ను సృష్టిస్తుంది.
5. చిమ్మడం: ప్లాస్మా నుండి వచ్చే అయాన్లు లక్ష్య పదార్థంతో ఢీకొని, అణువులను లేదా అణువులను లక్ష్యం నుండి పడవేస్తాయి. ఈ కణాలు వాక్యూమ్ గుండా ప్రయాణించి ఉపరితలంపై జమ అవుతాయి, ఇది సన్నని పొరను ఏర్పరుస్తుంది.
6.నియంత్రణ: లక్ష్యానికి వర్తించే శక్తి, జడ వాయువు పీడనం మరియు స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియ యొక్క వ్యవధి వంటి పారామితులను సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క మందం మరియు కూర్పును ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు.
–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: జూలై-12-2024