ஸ்பட்டரிங் வெற்றிட கோட்டர் என்பது ஒரு அடி மூலக்கூறின் மீது மெல்லிய படலப் பொருட்களை வைப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சாதனமாகும். இந்த செயல்முறை பொதுவாக குறைக்கடத்திகள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் ஒளியியல் மற்றும் மின்னணு பயன்பாடுகளுக்கான பல்வேறு வகையான பூச்சுகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது எவ்வாறு செயல்படுகிறது என்பதற்கான அடிப்படை கண்ணோட்டம் இங்கே:
1. வெற்றிட அறை: மாசுபாட்டைக் குறைப்பதற்கும் படிவு செயல்முறையின் மீது சிறந்த கட்டுப்பாட்டை அனுமதிப்பதற்கும் இந்த செயல்முறை ஒரு வெற்றிட அறைக்குள் நடைபெறுகிறது.
2. இலக்கு பொருள்: டெபாசிட் செய்யப்பட வேண்டிய பொருள் இலக்கு என்று அழைக்கப்படுகிறது. இது வெற்றிட அறைக்குள் வைக்கப்படுகிறது.
3.அடி மூலக்கூறு: மெல்லிய படலம் படிய வைக்கப்படும் பொருள் அடி மூலக்கூறு ஆகும். இது வெற்றிட அறைக்குள்ளும் வைக்கப்படுகிறது.
4. பிளாஸ்மா உருவாக்கம்: ஒரு மந்த வாயு, பொதுவாக ஆர்கான், அறைக்குள் செலுத்தப்படுகிறது. இலக்குக்கு உயர் மின்னழுத்தம் செலுத்தப்பட்டு, ஒரு பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது (இலவச எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் அயனிகளைக் கொண்ட பொருளின் நிலை).
5. துப்புதல்: பிளாஸ்மாவிலிருந்து வரும் அயனிகள் இலக்குப் பொருளுடன் மோதுகின்றன, அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளை இலக்கிலிருந்து தட்டுகின்றன. இந்த துகள்கள் பின்னர் வெற்றிடத்தின் வழியாக பயணித்து அடி மூலக்கூறின் மீது படிந்து, ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன.
6.கட்டுப்பாடு: இலக்குக்கு பயன்படுத்தப்படும் சக்தி, மந்த வாயுவின் அழுத்தம் மற்றும் தெளித்தல் செயல்முறையின் காலம் போன்ற அளவுருக்களை சரிசெய்வதன் மூலம் படத்தின் தடிமன் மற்றும் கலவையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தலாம்.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஜூலை-12-2024