ஆப்டிகல் பூச்சுகளின் பணிப்பாய்வு பொதுவாக பின்வரும் முக்கிய படிகளை உள்ளடக்கியது: முன் சிகிச்சை, பூச்சு, படக் கண்காணிப்பு மற்றும் சரிசெய்தல், குளிர்வித்தல் மற்றும் அகற்றுதல். குறிப்பிட்ட செயல்முறை உபகரணங்களின் வகை (ஆவியாதல் பூச்சு, ஸ்பட்டரிங் கோட்டர் போன்றவை) மற்றும் பூச்சு செயல்முறை (ஒற்றை அடுக்கு படம், பல அடுக்கு படம் போன்றவை) ஆகியவற்றைப் பொறுத்து மாறுபடலாம், ஆனால் பொதுவாக, ஆப்டிகல் பூச்சு செயல்முறை தோராயமாக பின்வருமாறு:
முதலில், தயாரிப்பு நிலை
ஒளியியல் கூறுகளை சுத்தம் செய்தல் மற்றும் தயாரித்தல்:
பூச்சு பூசுவதற்கு முன், ஒளியியல் கூறுகளை (லென்ஸ்கள், வடிகட்டிகள், ஒளியியல் கண்ணாடி போன்றவை) முழுமையாக சுத்தம் செய்ய வேண்டும். பூச்சுகளின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்கான அடிப்படையே இந்தப் படியாகும். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் துப்புரவு முறைகளில் மீயொலி சுத்தம் செய்தல், ஊறுகாய் செய்தல், நீராவி சுத்தம் செய்தல் போன்றவை அடங்கும்.
பூச்சு செயல்பாட்டின் போது அவை நிலையாக இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, சுத்தமான ஒளியியல் கூறுகள் பொதுவாக பூச்சு இயந்திரத்தின் சுழலும் சாதனம் அல்லது கிளாம்பிங் அமைப்பில் வைக்கப்படுகின்றன.
வெற்றிட அறையின் முன் சிகிச்சை:
பூச்சு இயந்திரத்தில் ஒளியியல் உறுப்பை வைப்பதற்கு முன், பூச்சு அறையை ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வெற்றிடத்திற்கு பம்ப் செய்ய வேண்டும். வெற்றிட சூழல் காற்றில் உள்ள அசுத்தங்கள், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவியை திறம்பட அகற்றி, பூச்சுப் பொருளுடன் வினைபுரிவதைத் தடுக்கிறது மற்றும் படத்தின் தூய்மை மற்றும் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.
பொதுவாக, பூச்சு அறை அதிக வெற்றிடத்தை (10⁻⁵ முதல் 10⁻⁶ Pa) அல்லது நடுத்தர வெற்றிடத்தை (10⁻³ முதல் 10⁻⁴ Pa) அடைய வேண்டும்.
இரண்டாவதாக, பூச்சு செயல்முறை
தொடக்க பூச்சு மூலம்:
பூச்சு மூலமானது பொதுவாக ஆவியாதல் மூலமாகவோ அல்லது தெளிப்பு மூலமாகவோ இருக்கும். பூச்சு செயல்முறை மற்றும் பொருளுக்கு ஏற்ப வெவ்வேறு பூச்சு மூலங்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்படும்.
ஆவியாதல் மூலம்: பூச்சுப் பொருள் எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்கி அல்லது எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் ஆவியாக்கி போன்ற வெப்பமூட்டும் சாதனத்தைப் பயன்படுத்தி ஆவியாக்கும் நிலைக்கு வெப்பப்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் அதன் மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக்கள் ஆவியாகி ஒளியியல் தனிமத்தின் மேற்பரப்பில் வெற்றிடத்தில் வைக்கப்படுகின்றன.
தெளிப்பு மூலம்: உயர் மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இலக்கு அயனிகளுடன் மோதுகிறது, இலக்கின் அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளை வெளியேற்றுகிறது, அவை ஒளியியல் தனிமத்தின் மேற்பரப்பில் படிந்து ஒரு படலத்தை உருவாக்குகின்றன.
படப் பொருள் படிவு:
ஒரு வெற்றிட சூழலில், பூசப்பட்ட பொருள் ஒரு மூலத்திலிருந்து (ஆவியாதல் மூல அல்லது இலக்கு போன்றவை) ஆவியாகி அல்லது சிதறி, படிப்படியாக ஒளியியல் தனிமத்தின் மேற்பரப்பில் படிகிறது.
படல அடுக்கு சீரானதாகவும், தொடர்ச்சியாகவும், வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதாகவும் இருப்பதை உறுதிசெய்ய, படிவு விகிதம் மற்றும் படல தடிமன் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். படிவின் போது அளவுருக்கள் (மின்னோட்டம், வாயு ஓட்டம், வெப்பநிலை போன்றவை) படத்தின் தரத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கும்.
படக் கண்காணிப்பு மற்றும் தடிமன் கட்டுப்பாடு:
பூச்சு செயல்பாட்டில், படத்தின் தடிமன் மற்றும் தரம் பொதுவாக நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிக்கப்படும், மேலும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் கண்காணிப்பு கருவிகள் குவார்ட்ஸ் படிக நுண் சமநிலை (QCM) ** மற்றும் பிற சென்சார்கள் ஆகும், அவை படத்தின் படிவு விகிதம் மற்றும் தடிமனை துல்லியமாகக் கண்டறிய முடியும்.
இந்தக் கண்காணிப்புத் தரவுகளின் அடிப்படையில், பட அடுக்கின் நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மையைப் பராமரிக்க, பூச்சு மூலத்தின் சக்தி, வாயு ஓட்ட விகிதம் அல்லது கூறுகளின் சுழற்சி வேகம் போன்ற அளவுருக்களை அமைப்பு தானாகவே சரிசெய்ய முடியும்.
பல அடுக்கு படம் (தேவைப்பட்டால்):
பல அடுக்கு அமைப்பு தேவைப்படும் ஒளியியல் கூறுகளுக்கு, பூச்சு செயல்முறை பொதுவாக அடுக்கு அடுக்கு மூலம் மேற்கொள்ளப்படுகிறது. ஒவ்வொரு அடுக்கின் படிவுக்குப் பிறகு, ஒவ்வொரு அடுக்கின் தரமும் வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்வதற்காக, அமைப்பு மீண்டும் மீண்டும் படத் தடிமன் கண்டறிதல் மற்றும் சரிசெய்தலை மேற்கொள்ளும்.
இந்த செயல்முறைக்கு ஒவ்வொரு அடுக்கின் தடிமன் மற்றும் பொருள் வகையின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது, இதனால் ஒவ்வொரு அடுக்கும் ஒரு குறிப்பிட்ட அலைநீள வரம்பில் பிரதிபலிப்பு, பரிமாற்றம் அல்லது குறுக்கீடு போன்ற செயல்பாடுகளைச் செய்ய முடியும்.
மூன்றாவதாக, குளிர்வித்து அகற்றவும்.
குறுவட்டு:
பூச்சு முடிந்ததும், ஒளியியல் மற்றும் பூச்சு இயந்திரத்தை குளிர்விக்க வேண்டும். பூச்சு செயல்பாட்டின் போது உபகரணங்கள் மற்றும் கூறுகள் சூடாகலாம் என்பதால், வெப்ப சேதத்தைத் தடுக்க, குளிரூட்டும் நீர் அல்லது காற்று ஓட்டம் போன்ற குளிரூட்டும் அமைப்பு மூலம் அவற்றை அறை வெப்பநிலைக்கு குளிர்விக்க வேண்டும்.
சில உயர்-வெப்பநிலை பூச்சு செயல்முறைகளில், குளிர்வித்தல் ஒளியியல் உறுப்பைப் பாதுகாப்பது மட்டுமல்லாமல், படலம் உகந்த ஒட்டுதல் மற்றும் நிலைத்தன்மையை அடையவும் உதவுகிறது.
ஒளியியல் உறுப்பை அகற்று:
குளிரூட்டல் முடிந்ததும், பூச்சு இயந்திரத்திலிருந்து ஒளியியல் உறுப்பை அகற்றலாம்.
பூச்சு தரம் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறதா என்பதை உறுதிப்படுத்த, வெளியே எடுப்பதற்கு முன், பட அடுக்கின் சீரான தன்மை, பட தடிமன், ஒட்டுதல் போன்ற பூச்சு விளைவைச் சரிபார்க்க வேண்டியது அவசியம்.
4. பிந்தைய செயலாக்கம் (விரும்பினால்)
படல கடினப்படுத்துதல்:
சில நேரங்களில் பூசப்பட்ட படலத்தின் கீறல் எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்துழைப்பை மேம்படுத்த பூசப்பட்ட படலத்தை கடினப்படுத்த வேண்டும். இது பொதுவாக வெப்ப சிகிச்சை அல்லது புற ஊதா கதிர்வீச்சு போன்ற வழிமுறைகளால் செய்யப்படுகிறது.
திரைப்பட சுத்தம்:
படலத்தின் மேற்பரப்பில் இருந்து அசுத்தங்கள், எண்ணெய்கள் அல்லது பிற அசுத்தங்களை அகற்ற, சுத்தம் செய்தல், மீயொலி சிகிச்சை போன்ற சிறிய சுத்தம் செய்ய வேண்டியிருக்கலாம்.
5. தர ஆய்வு மற்றும் சோதனை
ஒளியியல் செயல்திறன் சோதனை: பூச்சு முடிந்த பிறகு, தொழில்நுட்பத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்வதற்காக, ஒளி பரிமாற்றம், பிரதிபலிப்பு, பட சீரான தன்மை போன்ற ஒளியியல் கூறுகளில் தொடர்ச்சியான செயல்திறன் சோதனைகள் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன.
ஒட்டுதல் சோதனை: டேப் சோதனை அல்லது கீறல் சோதனை மூலம், படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான ஒட்டுதல் வலுவாக உள்ளதா என்பதைச் சரிபார்க்கவும்.
சுற்றுச்சூழல் நிலைத்தன்மை சோதனை: நடைமுறை பயன்பாடுகளில் பூச்சு அடுக்கின் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, வெப்பநிலை, ஈரப்பதம் மற்றும் புற ஊதா ஒளி போன்ற சுற்றுச்சூழல் நிலைமைகளின் கீழ் நிலைத்தன்மை சோதனையை நடத்துவது சில நேரங்களில் அவசியம்.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: ஜனவரி-24-2025