Kifuniko cha utupu kinachonyunyiza ni kifaa kinachotumiwa kuweka filamu nyembamba za nyenzo kwenye substrate. Utaratibu huu hutumiwa kwa kawaida katika utengenezaji wa semiconductors, seli za jua, na aina mbalimbali za mipako kwa matumizi ya macho na ya elektroniki. Hapa kuna muhtasari wa kimsingi wa jinsi inavyofanya kazi:
1. Chumba cha Utupu: Mchakato unafanyika ndani ya chemba ya utupu ili kupunguza uchafuzi na kuruhusu udhibiti bora wa mchakato wa uwekaji.
2. Nyenzo Lengwa: Nyenzo zitakazowekwa hujulikana kama lengo. Hii imewekwa ndani ya chumba cha utupu.
3.Substrate: Substrate ni nyenzo ambayo filamu nyembamba itawekwa. Pia huwekwa ndani ya chumba cha utupu.
4.Kizazi cha Plasma: Gesi ya ajizi, kwa kawaida argon, huletwa ndani ya chemba. Voltage ya juu hutumiwa kwa lengo, na kuunda plasma (hali ya suala inayojumuisha elektroni za bure na ions).
5.Sputtering: Ioni kutoka kwenye plazima hugongana na nyenzo lengwa, na kugonga atomi au molekuli kutoka kwenye lengo. Kisha chembe hizi husafiri kupitia utupu na kuweka kwenye substrate, na kutengeneza filamu nyembamba.
6.Udhibiti: Unene na muundo wa filamu unaweza kudhibitiwa kwa usahihi kwa kurekebisha vigezo kama vile nguvu inayotumika kwenye shabaha, shinikizo la gesi ajizi, na muda wa mchakato wa kunyunyiza.
- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa kutuma: Jul-12-2024