Mtiririko wa kazi wa mipako ya macho kawaida hujumuisha hatua kuu zifuatazo: matibabu ya awali, mipako, ufuatiliaji na marekebisho ya filamu, baridi na kuondolewa. Mchakato maalum unaweza kutofautiana kulingana na aina ya vifaa (kama vile mipako ya uvukizi, koti ya kunyunyiza, n.k.) na mchakato wa mipako (kama vile filamu ya safu moja, filamu ya multilayer, nk), lakini kwa ujumla, mchakato wa mipako ya macho ni takribani kama ifuatavyo.
Kwanza, hatua ya maandalizi
Kusafisha na kuandaa vifaa vya macho:
Kabla ya mipako, vipengele vya macho (kama vile lenses, filters, kioo macho, nk) vinahitaji kusafishwa vizuri. Hatua hii ni msingi wa kuhakikisha ubora wa mipako. Njia za kawaida za kusafisha ni pamoja na kusafisha ultrasonic, pickling, kusafisha mvuke na kadhalika.
Vipengele safi vya macho kawaida huwekwa kwenye kifaa kinachozunguka au mfumo wa kushikilia wa mashine ya mipako ili kuhakikisha kwamba wanaweza kubaki imara wakati wa mchakato wa mipako.
Maandalizi ya chumba cha utupu:
Kabla ya kuweka kipengele cha macho kwenye mashine ya mipako, chumba cha mipako kinahitaji kusukuma kwa kiwango fulani cha utupu. Mazingira ya utupu yanaweza kuondoa kwa ufanisi uchafu, oksijeni na mvuke wa maji katika hewa, kuwazuia kuguswa na nyenzo za mipako, na kuhakikisha usafi na ubora wa filamu.
Kwa ujumla, chumba cha kufunika kinahitaji kupata utupu wa juu (10⁻⁵ hadi 10⁻⁶ Pa) au utupu wa wastani (10⁻³ hadi 10⁻⁴ Pa).
Pili, mchakato wa mipako
Chanzo cha kuanza kwa mipako:
Chanzo cha mipako kawaida ni chanzo cha uvukizi au chanzo cha sputtering. Vyanzo tofauti vya mipako vitachaguliwa kulingana na mchakato wa mipako na nyenzo.
Chanzo cha uvukizi: Nyenzo ya upako hupashwa joto hadi hali ya kuyeyuka kwa kutumia kifaa cha kukanza, kama vile kivukizo cha boriti ya elektroni au kivukizo cha kukanza, ili molekuli au atomi zake ziweze kuyeyuka na kuwekwa kwenye uso wa kipengele cha macho kwenye utupu.
Chanzo cha sputtering: Kwa kutumia volteji ya juu, lengwa hugongana na ayoni, na kutoa atomi au molekuli za lengwa, ambazo huwekwa kwenye uso wa kipengele cha macho ili kuunda filamu.
Uwekaji wa nyenzo za filamu:
Katika mazingira ya utupu, nyenzo iliyofunikwa huvukiza au sputters kutoka chanzo (kama vile chanzo cha uvukizi au lengo) na hatua kwa hatua huwekwa kwenye uso wa kipengele cha macho.
Kiwango cha uwekaji na unene wa filamu vinahitaji kudhibitiwa kwa usahihi ili kuhakikisha kuwa safu ya filamu ni sare, inayoendelea na inakidhi mahitaji ya muundo. Vigezo wakati wa uwekaji (kama vile sasa, mtiririko wa gesi, joto, nk) vitaathiri moja kwa moja ubora wa filamu.
Ufuatiliaji wa filamu na udhibiti wa unene:
Katika mchakato wa upakaji, unene na ubora wa filamu kwa kawaida hufuatiliwa kwa wakati halisi, na zana za ufuatiliaji zinazotumika sana ni usawazishaji wa kioo wa quartz (QCM) ** na vihisi vingine, vinavyoweza kutambua kwa usahihi kiwango cha uwekaji na unene wa filamu.
Kulingana na data hizi za ufuatiliaji, mfumo unaweza kurekebisha kiotomatiki vigezo kama vile nguvu ya chanzo cha kupaka, kiwango cha mtiririko wa gesi au kasi ya mzunguko wa kijenzi ili kudumisha uthabiti na usawaziko wa safu ya filamu.
Filamu ya safu nyingi (ikiwa inahitajika):
Kwa vipengele vya macho vinavyohitaji muundo wa multilayer, mchakato wa mipako kawaida hufanyika safu na safu. Baada ya utuaji wa kila safu, mfumo utafanya utambuzi na urekebishaji wa unene wa filamu unaorudiwa ili kuhakikisha kuwa ubora wa kila safu ya filamu unakidhi mahitaji ya muundo.
Mchakato huu unahitaji udhibiti kamili wa unene na aina ya nyenzo ya kila safu ili kuhakikisha kuwa kila safu inaweza kutekeleza majukumu kama vile uakisi, upokezaji au usumbufu katika safu mahususi ya urefu wa mawimbi.
Tatu, baridi na uondoe
CD:
Baada ya mipako kukamilika, optics na mashine ya mipako inahitaji kupozwa. Kwa kuwa vifaa na vipengele vinaweza kuwa moto wakati wa mchakato wa mipako, vinahitaji kupozwa kwa joto la kawaida na mfumo wa baridi, kama vile maji ya baridi au mtiririko wa hewa, ili kuzuia uharibifu wa joto.
Katika baadhi ya michakato ya mipako ya joto la juu, baridi sio tu kulinda kipengele cha macho, lakini pia huwezesha filamu kufikia mshikamano bora na utulivu.
Ondoa kipengele cha macho:
Baada ya baridi kukamilika, kipengele cha macho kinaweza kuondolewa kwenye mashine ya mipako.
Kabla ya kuchukua nje, ni muhimu kuangalia athari ya mipako, ikiwa ni pamoja na usawa wa safu ya filamu, unene wa filamu, wambiso, nk, ili kuhakikisha kwamba ubora wa mipako hukutana na mahitaji.
4. Baada ya usindikaji (si lazima)
Ugumu wa filamu:
Wakati mwingine filamu iliyofunikwa inahitaji kuwa ngumu ili kuboresha upinzani wa mwanzo na uimara wa filamu. Hii kawaida hufanywa kwa njia kama vile matibabu ya joto au mionzi ya ultraviolet.
Kusafisha filamu:
Ili kuondoa uchafu, mafuta au uchafu mwingine kutoka kwa uso wa filamu, inaweza kuwa muhimu kufanya usafi mdogo, kama vile kusafisha, matibabu ya ultrasonic, nk.
5. Ukaguzi wa ubora na upimaji
Mtihani wa utendaji wa macho: Baada ya mipako kukamilika, mfululizo wa vipimo vya utendaji hufanyika kwenye sehemu ya macho, ikiwa ni pamoja na upitishaji wa mwanga, kutafakari, usawa wa filamu, nk, ili kuhakikisha kuwa inakidhi mahitaji ya kiufundi.
Jaribio la kushikamana: Kwa mtihani wa mkanda au mtihani wa mwanzo, angalia kama kushikamana kati ya filamu na substrate ni nguvu.
Jaribio la uthabiti wa mazingira: Wakati mwingine ni muhimu kufanya majaribio ya uthabiti chini ya hali ya mazingira kama vile halijoto, unyevunyevu na mwanga wa urujuanimno ili kuhakikisha kutegemewa kwa safu ya mipako katika matumizi ya vitendo.
- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa kutuma: Jan-24-2025