The workflow of coaters optik biasana ngawengku léngkah utama handap: pretreatment, palapis, ngawas pilem tur adjustment, cooling sarta ngaleupaskeun. Prosés spésifik bisa rupa-rupa gumantung kana jenis pakakas (sapertos évaporasi coater, sputtering coater, jsb) jeung prosés palapis (kayaning single layer film, multilayer film, jsb), tapi sacara umum, prosés palapis optik kasarna kieu:
Kahiji, tahap persiapan
Pembersih sareng persiapan komponén optik:
Sateuacan palapis, komponén optik (sapertos lénsa, saringan, kaca optik, jsb) kedah dibersihkeun sacara saksama. Léngkah ieu mangrupikeun dasar pikeun mastikeun kualitas palapis. Metode beberesih anu umum dianggo kalebet beberesih ultrasonik, acar, beberesih uap sareng saterasna.
Unsur optik bersih biasana disimpen dina alat puteran atawa sistem clamping tina mesin palapis pikeun mastikeun yén maranéhna bisa tetep stabil salila prosés palapis.
Pretreatment tina chamber vakum:
Sateuacan nempatkeun unsur optik kana mesin palapis, kamar palapis kedah dipompa ka tingkat vakum anu tangtu. Lingkungan vakum sacara efektif tiasa ngaleungitkeun pangotor, oksigén sareng uap cai dina hawa, nyegah aranjeunna ngaréaksikeun sareng bahan palapis, sareng mastikeun kamurnian sareng kualitas pilem.
Sacara umum, kamar palapis kedah ngahontal vakum anu luhur (10⁻⁵ dugi ka 10⁻⁶ Pa) atanapi vakum sedeng (10⁻³ dugi ka 10⁻⁴ Pa).
Kadua, prosés palapis
Sumber palapis mimiti:
Sumber palapis biasana sumber évaporasi atanapi sumber sputtering. Sumber palapis anu béda bakal dipilih dumasar kana prosés palapis sareng bahan.
Sumber évaporasi: Bahan palapis dipanaskeun kana kaayaan évaporatif nganggo alat pemanasan, sapertos évaporator sinar éléktron atanapi évaporator pemanasan résistansi, supados molekul atanapi atomna nguap sareng disimpen dina permukaan unsur optik dina ruang hampa.
Sumber sputtering: Ku nerapkeun tegangan tinggi, udagan tabrakan jeung ion, sputtering kaluar atom atawa molekul udagan, nu disimpen dina beungeut unsur optik pikeun ngabentuk pilem.
Déposisi bahan pilem:
Dina lingkungan vakum, bahan coated evaporates atawa sputters tina sumber (saperti sumber évaporasi atawa udagan) jeung saeutik demi saeutik deposit kana beungeut unsur optik.
Laju déposisi sareng ketebalan pilem kedah dikontrol sacara saksama pikeun mastikeun yén lapisan pilem seragam, kontinyu, sareng nyumponan sarat desain. Parameter salila déposisi (sapertos arus, aliran gas, suhu, jsb) bakal langsung mangaruhan kualitas pilem.
Ngawaskeun pilem sareng kontrol ketebalan:
Dina prosés palapis, ketebalan sareng kualitas pilem biasana diawaskeun sacara real waktos, sareng alat ngawaskeun anu biasa dianggo nyaéta quartz crystal microbalance (QCM) ** sareng sénsor sanésna, anu sacara akurat tiasa ngadeteksi laju déposisi sareng ketebalan pilem.
Dumasar kana data ngawaskeun ieu, sistem otomatis tiasa nyaluyukeun parameter sapertos kakuatan sumber palapis, laju aliran gas atanapi laju rotasi komponén pikeun ngajaga konsistensi sareng kaseragaman lapisan pilem.
Pilem multilayer (upami diperyogikeun):
Pikeun komponén optik anu merlukeun struktur multilayer, prosés palapis biasana dilaksanakeun lapisan demi lapisan. Saatos déposisi unggal lapisan, sistem bakal ngalaksanakeun deteksi ketebalan pilem sareng panyesuaian pikeun mastikeun yén kualitas unggal lapisan pilem nyumponan sarat desain.
Prosés ieu ngabutuhkeun kontrol anu tepat tina ketebalan sareng jinis bahan unggal lapisan pikeun mastikeun yén unggal lapisan tiasa ngalaksanakeun fungsi sapertos réfléksi, transmisi atanapi gangguan dina rentang panjang gelombang anu khusus.
Katilu, tiis jeung cabut
CD:
Saatos palapis parantos réngsé, élmu optik sareng mesin palapis kedah langkung tiis. Kusabab alat-alat sareng komponenana tiasa janten panas salami prosés palapis, aranjeunna kedah langkung tiis kana suhu kamar ku sistem cooling, sapertos cai cooling atanapi aliran hawa, pikeun nyegah karusakan termal.
Dina sababaraha prosés palapis-suhu luhur, cooling teu ukur ngajaga unsur optik, tapi ogé nyandak pilem pikeun ngahontal adhesion optimal sarta stabilitas.
Cabut unsur optik:
Saatos cooling réngsé, unsur optik bisa dihapus tina mesin palapis.
Sateuacan nyandak kaluar, perlu pariksa pangaruh palapis, kaasup uniformity tina lapisan pilem, ketebalan pilem, adhesion, jsb, pikeun mastikeun yén kualitas palapis meets sarat.
4. Post-processing (opsional)
Hardening pilem:
Kadang film coated perlu hardened pikeun ngaronjatkeun résistansi scratch jeung durability film. Ieu biasana dilakukeun ku cara sapertos perlakuan panas atanapi radiasi ultraviolét.
Ngabersihan pilem:
Pikeun miceun rereged, minyak atawa najis séjén tina beungeut pilem, nya meureun perlu ngalakukeun beberesih minor, kayaning beberesih, perlakuan ultrasonik, jsb.
5. inspeksi kualitas sarta nguji
Tes kinerja optik: Saatos palapis parantos réngsé, séri tés kinerja dilaksanakeun dina komponén optik, kalebet pancaran cahaya, pantulan, keseragaman pilem, sareng sajabana, pikeun mastikeun yén éta nyumponan sarat téknis.
Tes Adhesion: Ku tés tape atanapi uji scratch, pariksa naha adhesion antara pilem sareng substrat kuat.
Uji stabilitas lingkungan: Kadang-kadang perlu ngalaksanakeun uji stabilitas dina kaayaan lingkungan sapertos suhu, kalembaban, sareng sinar ultraviolét pikeun mastikeun réliabilitas lapisan palapis dina aplikasi praktis.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Jan-24-2025