Sesepa sa sputtering vacuum coater ke sesebelisoa se sebelisetsoang ho beha lifilimi tse tšesaane tsa thepa holim'a substrate. Mokhoa ona o atisa ho sebelisoa ha ho etsoa li-semiconductors, lisele tsa letsatsi, le mefuta e sa tšoaneng ea liphahlo bakeng sa lisebelisoa tsa optical le tsa elektroniki. Mona ke kakaretso ea kamoo e sebetsang kateng:
1.Vacuum Chamber: Ts'ebetso e etsahala ka har'a kamore ea vacuum ho fokotsa tšilafalo le ho lumella taolo e ntle holim'a ts'ebetso ea deposition.
2.Target Material: Thepa e tla behoa e tsejoa e le sepheo. Sena se behoa ka har'a kamore ea vacuum.
3.Substrate: Substrate ke thepa eo filimi e tšesaane e tla behoa ho eona. E boetse e kenngoa ka har'a kamore ea vacuum.
4.Plasma Generation: Khase ea inert, hangata argon, e kenngoa ka kamoreng. Ho sebelisoa matla a phahameng ho sepheo, ho theha plasma (boemo ba taba bo nang le li-electrone le li-ion tsa mahala).
5.Sputtering: Li-ion tse tsoang plasma li thulana le lintho tse lebisitsoeng, li thula liathomo kapa limolek'hule ho tloha moo sepheo sa sona. Likaroloana tsena li tsamaea ka har'a vacuum ebe li beha holim'a substrate, li etsa filimi e tšesaane.
6.Control: Botenya le sebopeho sa filimi li ka laoloa ka nepo ka ho fetola litekanyo tse kang matla a sebelisoang ho sepheo, khatello ea khase e sa sebetseng, le nako ea ts'ebetso ea sputtering.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Jul-12-2024