Уређај за наношење премаза распршивањем у вакууму је уређај који се користи за наношење танких филмова материјала на подлогу. Овај процес се обично користи у производњи полупроводника, соларних ћелија и разних врста премаза за оптичке и електронске примене. Ево основног прегледа како функционише:
1. Вакуумска комора: Процес се одвија унутар вакуумске коморе како би се смањила контаминација и омогућила боља контрола над процесом таложења.
2. Циљни материјал: Материјал који се таложи познат је као мета. Она се поставља унутар вакуумске коморе.
3. Подлога: Подлога је материјал на који ће се танки филм наносити. Такође се налази унутар вакуумске коморе.
4. Генерисање плазме: Инертни гас, обично аргон, се уводи у комору. Висок напон се примењује на мету, стварајући плазму (стање материје које се састоји од слободних електрона и јона).
5. Распршивање: Јони из плазме сударају се са материјалом мете, избацујући атоме или молекуле са мете. Ове честице затим путују кроз вакуум и таложе се на подлогу, формирајући танки филм.
6. Контрола: Дебљина и састав филма могу се прецизно контролисати подешавањем параметара као што су снага примењена на мету, притисак инертног гаса и трајање процеса распршивања.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 12. јул 2024.