Радни ток уређаја за оптичко премазивање обично обухвата следеће главне кораке: претходна обрада, премазивање, праћење и подешавање филма, хлађење и уклањање. Специфични процес може да варира у зависности од врсте опреме (као што је уређај за испаравање, уређај за распршивање итд.) и процеса премазивања (као што је једнослојни филм, вишеслојни филм итд.), али генерално, процес оптичког премазивања је отприлике следећи:
Прво, фаза припреме
Чишћење и припрема оптичких компоненти:
Пре наношења премаза, оптичке компоненте (као што су сочива, филтери, оптичко стакло итд.) морају се темељно очистити. Овај корак је основа за обезбеђивање квалитета премаза. Уобичајене методе чишћења укључују ултразвучно чишћење, кисељење, чишћење паром и тако даље.
Чисти оптички елементи се обично постављају на ротирајући уређај или систем за стезање машине за премазивање како би се осигурало да могу остати стабилни током процеса премазивања.
Претходна обрада вакуумске коморе:
Пре него што се оптички елемент постави у машину за премазивање, комору за премазивање је потребно испумпати до одређеног степена вакуума. Вакуумско окружење може ефикасно уклонити нечистоће, кисеоник и водену пару из ваздуха, спречити њихову реакцију са материјалом за премазивање и осигурати чистоћу и квалитет филма.
Генерално, комора за премазивање треба да постигне висок вакуум (10⁻⁵ до 10⁻⁶ Pa) или средњи вакуум (10⁻³ до 10⁻⁴ Pa).
Друго, процес премазивања
Извор почетног премаза:
Извор премаза је обично извор испаравања или извор распршивања. Различити извори премаза биће одабрани у складу са поступком премазивања и материјалом.
Извор испаравања: Материјал премаза се загрева до испаравајућег стања помоћу уређаја за грејање, као што је испаривач са електронским снопом или испаривач са отпорним грејањем, тако да његови молекули или атоми испаравају и таложе се на површини оптичког елемента у вакууму.
Извор распршивања: Применом високог напона, мета се судара са јонима, распршујући атоме или молекуле мете, који се таложе на површини оптичког елемента и формирају филм.
Наношење филмског материјала:
У вакуумском окружењу, премазани материјал испарава или распршује из извора (као што је извор испаравања или мета) и постепено се таложи на површини оптичког елемента.
Брзина наношења и дебљина филма морају бити прецизно контролисане како би се осигурало да је слој филма равномеран, континуиран и да испуњава захтеве пројектовања. Параметри током наношења (као што су струја, проток гаса, температура итд.) директно ће утицати на квалитет филма.
Праћење и контрола дебљине филма:
У процесу наношења премаза, дебљина и квалитет филма се обично прате у реалном времену, а најчешће коришћени алати за праћење су кварцна кристална микровага (QCM) ** и други сензори, који могу прецизно детектовати брзину наношења и дебљину филма.
На основу ових података праћења, систем може аутоматски да подеси параметре као што су снага извора премаза, брзина протока гаса или брзина ротације компоненте како би се одржала конзистентност и једнообразност слоја филма.
Вишеслојна фолија (ако је потребно):
За оптичке компоненте које захтевају вишеслојну структуру, процес наношења премаза се обично изводи слој по слој. Након наношења сваког слоја, систем ће извршити поновљено детектовање и подешавање дебљине филма како би се осигурало да квалитет сваког слоја филма испуњава захтеве дизајна.
Овај процес захтева прецизну контролу дебљине и типа материјала сваког слоја како би се осигурало да сваки слој може да обавља функције као што су рефлексија, пренос или интерференција у одређеном опсегу таласних дужина.
Треће, охладите и уклоните
ЦД:
Након што је премазивање завршено, оптику и машину за премазивање је потребно охладити. Пошто опрема и компоненте могу постати вруће током процеса премазивања, потребно их је охладити на собну температуру помоћу система за хлађење, као што је расхладна вода или проток ваздуха, како би се спречило термичко оштећење.
У неким процесима наношења премаза на високим температурама, хлађење не само да штити оптички елемент, већ и омогућава филму да постигне оптимално пријањање и стабилност.
Уклоните оптички елемент:
Након што је хлађење завршено, оптички елемент се може уклонити из машине за премазивање.
Пре вађења, потребно је проверити ефекат премаза, укључујући уједначеност слоја филма, дебљину филма, адхезију итд., како би се осигурало да квалитет премаза испуњава захтеве.
4. Накнадна обрада (опционо)
Очвршћивање филма:
Понекад је потребно очврснути премазани филм како би се побољшала отпорност на гребање и издржљивост филма. То се обично ради средствима као што су термичка обрада или ултраљубичасто зрачење.
Чишћење филма:
Да би се уклонили загађивачи, уља или друге нечистоће са површине филма, може бити потребно извршити мање чишћење, као што је чишћење, ултразвучна обрада итд.
5. Инспекција и испитивање квалитета
Тест оптичких перформанси: Након што је премаз завршен, на оптичкој компоненти се спроводи низ тестова перформанси, укључујући пропустљивост светлости, рефлективност, уједначеност филма итд., како би се осигурало да испуњава техничке захтеве.
Тест адхезије: Тестом траке или тестом гребања проверите да ли је адхезија између филма и подлоге јака.
Тестирање стабилности у условима околине: Понекад је потребно спровести испитивање стабилности у условима околине као што су температура, влажност и ултраљубичасто светло како би се осигурала поузданост слоја премаза у практичним применама.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 24. јануар 2025.