Jaakadaha faakuumka ah ee ku dhuuban waa qalab loo isticmaalo in lagu shubo aflaanta dhuuban ee walxaha dusheeda. Nidaamkan waxaa caadi ahaan loo isticmaalaa soo saarista semiconductors, unugyada qorraxda, iyo noocyada kala duwan ee dahaarka codsiyada indhaha iyo elektiroonigga ah. Halkan waxaa ah dulmar aasaasi ah oo ku saabsan sida ay u shaqeyso:
1.Vacuum Chamber: Nidaamku wuxuu ka dhacaa gudaha qolka faakuumka si loo yareeyo wasakhda loona ogolaado in si fiican loo xakameeyo habka dhigista.
2.Target Material: Walaxda la shubayo waxaa loo yaqaan bartilmaameedka. Tan waxa la dhigayaa gudaha qolka faakuumka.
3.Substrate: Substrate-ku waa maaddada filimka khafiifka ah lagu dhejin doono. Waxa kale oo la dhigayaa gudaha qolka faakuumka.
4.Plasma Generation: Gaaska aan shaqaynayn, sida caadiga ah argon, ayaa lagu soo geliyaa qolka. Koronto sare ayaa lagu dabaqaa bartilmaameedka, abuurista balasmaha (xaalad arrin ah oo ka kooban elektaroono iyo ion bilaash ah).
5.Sputtering: Iions Plasma ka soo baxa waxay isku dhacaan walxaha bartilmaameedka ah, garaaca atamka ama molecules-ka bartilmaameedka. Qaybahani waxay markaas maraan faakuumka waxayna ku shubaan substrate-ka, iyagoo samaynaya filim khafiif ah.
6.Control: Dhumucda iyo halabuurka filimka ayaa si sax ah loo xakameyn karaa iyada oo la hagaajinayo cabbirada sida awoodda lagu dabaqay bartilmaameedka, cadaadiska gaaska aan firfircoonayn, iyo muddada habka sputtering.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Jul-12-2024