Guud ahaan, CVD waxaa loo qaybin karaa laba nooc: mid waa sheyga keliya ee ku jira kaydinta uumiga substrate-ka ee lakabka epitaxial-ka ee hal-kristaalka ah, kaas oo si cidhiidhi ah u ah CVD; kan kalena waa dhigista filimada khafiifka ah ee ku yaal substrate-ka, oo ay ku jiraan filimaan badan oo wax soo saar leh iyo kuwo aan qaab lahayn. Sida laga soo xigtay t...
Tan waxaan ka caddeyneynaa: (1) aaladaha filimada khafiifka ah, gudbinta, muuqaalka milicsiga iyo midabka xiriirka u dhigma ee u dhexeeya, taas oo ah, muuqaalka midabka; lidkeeda, xiriirkani "ma aha mid gaar ah", oo u muuqda midabyo badan. Sidaa darteed, filimka '...
Inta badan curiyayaasha kiimikada waxaa lagu uumi saari karaa iyadoo lagu daro kooxo kiimiko ah, tusaale ahaan Si wuxuu la falgalaa H si uu u sameeyo SiH4, Al-na wuxuu la falgalaa CH3 si uu u sameeyo Al(CH3). Habka CVD ee kuleylka, gaasaska kor ku xusan waxay nuugaan xaddi gaar ah oo tamar kuleyl ah marka ay dhex maraan substrate-ka kulul oo ay sameeyaan dib-u-habayn...