(3) Heerka Raadiyaha ee Plasma CVD (RFVVD) RF waxaa loo isticmaali karaa in lagu soo saaro Balaasma laba hab oo kala duwan, habka isku xidhka awoodda iyo habka isku xidhka inductive. Heerka RF ee CVD wuxuu isticmaalaa soo noqnoqoshada 13.56 MHz. Faa'iidada Balaasma RF waa inuu ku faafo meel aad uga weyn marka loo eego Microwave-ka...
Fiilada kulul ee CVD waa habka ugu horreeya uguna caansan ee lagu beero dheemanka cadaadis hooseeya. 1982 Matsumoto et al. waxay kululeeyeen fiilada birta ah ee adkeysiga leh ilaa 2000°C, heerkulkaas oo gaaska H2 ee dhex mara fiilada uu si fudud u soo saaro atamka haydarojiin. Soo saarista haydarojiin atomi ah ayaa...