O se mea fa'apipi'i gaogao ose masini e fa'aoga e teu ai ata manifinifi o mea i luga o se mea'ai. O lenei faiga e masani ona faʻaaogaina i le gaosiga o semiconductor, solar cell, ma ituaiga eseese o paʻu mo faʻaoga faʻapitoa ma eletise. O se fa'amatalaga autu lenei o le auala e galue ai:
1.Vacuum Chamber: O le faagasologa e faia i totonu o se potu gaogao e faʻaitiitia ai le faʻaleagaina ma faʻatagaina mo le sili atu ona pulea le faʻagasologa o le teuina.
2.Target Material: O mea e teuina e taʻua o le sini. E tu'u lea i totonu o le potu vacuum.
3. Substrate: O le substrate o le mea lea o le a teuina ai le ata manifinifi. E tu'u fo'i i totonu o le potu vacuum.
4. Plasma Generation: O se kasa lemu, masani argon, ua faʻafeiloaʻi i totonu o le potu. E faʻaaogaina se eletise maualuga i le faʻamoemoe, fatuina o se plasma (se tulaga o mea e aofia ai electrons saoloto ma ions).
5. Sputtering: Ions mai le plasma fetoʻai ma mea faʻatatau, tuʻituʻi atoms po molecules mai le taulaiga. O nei fasimea ona feoa'i lea i totonu o le vacuum ma teu i luga o le mea'ai, fai ai se ata manifinifi.
6.Control: O le mafiafia ma le tuʻufaʻatasia o le ata tifaga e mafai ona faʻatonutonu saʻo e ala i le fetuutuunai o faʻamau e pei o le mana e faʻaaogaina i le sini, le mamafa o le kesi inert, ma le umi o le faagasologa o le sputtering.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Iul-12-2024