Z naraščajočim razvojem tehnologije brizganja, zlasti tehnologije magnetronskega brizganja, je trenutno mogoče pripraviti tarčno folijo z ionskim bombardiranjem za kateri koli material. Ker se tarča med nanašanjem na podlago brizga, ima kakovost brizgane folije pomemben vpliv, zato so zahteve glede tarčnega materiala strožje. Pri izbiri tarčnega materiala je treba poleg uporabe same folije upoštevati tudi naslednja vprašanja:
1. Ciljni material mora imeti po nastanku filma dobro mehansko trdnost in kemijsko stabilnost.
2. Kombinacija tarče in substrata mora biti močna, sicer je treba pri substratu dobro kombinirati membranski material, najprej nanesti osnovni film z naprševanjem in nato pripraviti potrebno membransko plast.
3 kot membranski material za reakcijsko naprševanje mora biti enostaven za reakcijo s plinom, da se ustvarijo membranske spojine; 4.
4. Pod predpostavko izpolnjevanja zahtev glede delovanja membrane je razlika med koeficientom toplotnega raztezanja ciljnega materiala in substrata čim manjša, da se čim bolj zmanjša vpliv toplotnega stresa na razpršeno membrano.
Vpliv toplotne napetosti naprševalnega filma; 5.
5. Glede na uporabo in zahteve glede delovanja membrane mora ciljni material izpolnjevati čistost, vsebnost nečistoč, enakomernost komponent, natančnost obdelave in druge tehnične zahteve.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 21. dec. 2023