Naprava za vakuumsko nanašanje z razprševanjem je naprava, ki se uporablja za nanašanje tankih filmov materiala na podlago. Ta postopek se pogosto uporablja pri proizvodnji polprevodnikov, sončnih celic in različnih vrst premazov za optične in elektronske aplikacije. Tukaj je osnovni pregled delovanja:
1. Vakuumska komora: Postopek poteka v vakuumski komori, da se zmanjša kontaminacija in omogoči boljši nadzor nad postopkom nanašanja.
2. Ciljni material: Material, ki ga je treba nanesti, se imenuje tarča. Ta se namesti v vakuumsko komoro.
3. Podlaga: Podlaga je material, na katerega se bo nanesla tanka plast. Prav tako je nameščena v vakuumski komori.
4. Generiranje plazme: V komoro se vnese inertni plin, običajno argon. Na tarčo se uporabi visoka napetost, ki ustvari plazmo (agregatno stanje, sestavljeno iz prostih elektronov in ionov).
5. Razprševanje: Ioni iz plazme trčijo v material tarče in s tarče odbijajo atome ali molekule. Ti delci nato potujejo skozi vakuum in se odlagajo na substrat, kjer tvorijo tanek film.
6. Nadzor: Debelino in sestavo filma je mogoče natančno nadzorovati z nastavitvijo parametrov, kot so moč, ki se uporablja za tarčo, tlak inertnega plina in trajanje postopka naprševanja.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 12. julij 2024