Oprema uporablja tehnologijo elektronskega izhlapevanja. Elektroni se oddajajo iz katodne nitke in se fokusirajo v določen snopni tok, ki ga potencial med katodo in lončkom pospeši, da se tali in izhlapi premazni material. Ima značilnosti visoke energijske gostote in lahko izhlapi premazni material s tališčem več kot 3000 ℃. Film ima visoko čistost in visoko toplotno učinkovitost.
Oprema je opremljena z virom elektronskega izhlapevanja, ionskim virom, sistemom za spremljanje debeline filma, strukturo za korekcijo debeline filma in stabilnim sistemom vrtenja obdelovanca v obliki dežnika. Z nanosom premaza s pomočjo ionskega vira se poveča kompaktnost filma, stabilizira lomni količnik in prepreči pojav premika valovne dolžine zaradi vlage. Popolnoma avtomatski sistem za spremljanje debeline filma v realnem času zagotavlja ponovljivost in stabilnost postopka. Opremljen je s funkcijo samodejnega taljenja, ki zmanjšuje odvisnost od spretnosti operaterja.
Oprema je uporabna za različne okside in kovinske premazne materiale ter je lahko prevlečena z večplastnimi preciznimi optičnimi filmi, kot so AR film, dolgovalovni prehod, kratkovalovni prehod, posvetljevalni film, AS/AF film, IRCUT, barvni filmski sistem, gradientni filmski sistem itd. Široko se uporablja v AR očalih, optičnih lečah, fotoaparatih, optičnih lečah, filtrih, polprevodniški industriji itd.