Vákuový naprašovací povlakovač je zariadenie používané na nanášanie tenkých vrstiev materiálu na substrát. Tento proces sa bežne používa pri výrobe polovodičov, solárnych článkov a rôznych typov povlakov pre optické a elektronické aplikácie. Tu je základný prehľad o tom, ako funguje:
1. Vákuová komora: Proces prebieha vo vnútri vákuovej komory, aby sa znížila kontaminácia a umožnila lepšia kontrola procesu nanášania.
2. Cieľový materiál: Materiál, ktorý sa má nanášať, sa nazýva cieľ. Je umiestnený vo vnútri vákuovej komory.
3. Substrát: Substrát je materiál, na ktorý sa bude nanášať tenká vrstva. Je tiež umiestnený vo vnútri vákuovej komory.
4. Generovanie plazmy: Do komory sa zavádza inertný plyn, zvyčajne argón. Na cieľ sa aplikuje vysoké napätie, čím sa vytvára plazma (skupenstvo pozostávajúce z voľných elektrónov a iónov).
5. Naprašovanie: Ióny z plazmy narážajú do terčového materiálu a odrážajú atómy alebo molekuly z terča. Tieto častice potom prechádzajú vákuom a usadzujú sa na substráte, čím vytvárajú tenký film.
6. Riadenie: Hrúbku a zloženie filmu je možné presne regulovať nastavením parametrov, ako je výkon aplikovaný na cieľ, tlak inertného plynu a trvanie procesu naprašovania.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 12. júla 2024