ස්පුටරින් වැකුම් කෝටර් යනු උපස්ථරයක් මත තුනී ද්රව්ය පටල තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කරන උපකරණයකි. මෙම ක්රියාවලිය අර්ධ සන්නායක, සූර්ය කෝෂ සහ දෘශ්ය සහ ඉලෙක්ට්රොනික යෙදුම් සඳහා විවිධ වර්ගයේ ආලේපන නිෂ්පාදනයේදී බහුලව භාවිතා වේ. එය ක්රියා කරන ආකාරය පිළිබඳ මූලික දළ විශ්ලේෂණයක් මෙන්න:
1. රික්තක කුටිය: දූෂණය අවම කිරීම සහ තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලිය වඩා හොඳින් පාලනය කිරීමට ඉඩ සැලසීම සඳහා රික්තක කුටියක් තුළ ක්රියාවලිය සිදු වේ.
2.ඉලක්ක ද්රව්යය: තැන්පත් කළ යුතු ද්රව්යය ඉලක්කය ලෙස හැඳින්වේ. මෙය රික්ත කුටිය තුළ තබා ඇත.
3. උපස්ථරය: තුනී පටලය තැන්පත් කරනු ලබන ද්රව්යය උපස්ථරයයි. එය රික්ත කුටිය තුළ ද තබා ඇත.
4. ප්ලාස්මා උත්පාදනය: නිෂ්ක්රීය වායුවක්, සාමාන්යයෙන් ආගන්, කුටියට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ. ඉලක්කයට අධි වෝල්ටීයතාවයක් යොදන අතර, ප්ලාස්මා (නිදහස් ඉලෙක්ට්රෝන සහ අයන වලින් සමන්විත පදාර්ථ තත්වයක්) නිර්මාණය වේ.
5. ඉසීම: ප්ලාස්මාවෙන් ලැබෙන අයන ඉලක්ක ද්රව්ය සමඟ ගැටී පරමාණු හෝ අණු ඉලක්කයෙන් ඉවතට විසි කරයි. මෙම අංශු රික්තය හරහා ගමන් කර උපස්ථරය මත තැන්පත් වී තුනී පටලයක් සාදයි.
6. පාලනය: ඉලක්කයට යොදන බලය, නිෂ්ක්රීය වායුවේ පීඩනය සහ ඉසින ක්රියාවලියේ කාලසීමාව වැනි පරාමිතීන් සකස් කිරීමෙන් චිත්රපටයේ ඝණකම සහ සංයුතිය නිශ්චිතවම පාලනය කළ හැකිය.
–මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කර ඇත්තේරික්ත ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයාGuangdong Zhenhua
පළ කිරීමේ කාලය: ජූලි-12-2024