С ростом развития технологии нанесения покрытий распылением, особенно технологии нанесения покрытий магнетронным распылением, в настоящее время для любого материала можно приготовить пленку-мишень с помощью ионной бомбардировки, поскольку мишень распыляется в процессе нанесения ее на какой-либо субстрат, качество напыленной пленки имеет важное влияние, поэтому требования к материалу мишени также более строгие. При выборе материала мишени, в дополнение к использованию самой пленки, следует также учитывать следующие вопросы:
1. Целевой материал должен обладать хорошей механической прочностью и химической стабильностью после формирования пленки.
2. Сочетание мишени и подложки должно быть прочным, в противном случае следует взять подложку с хорошим сочетанием мембранного материала, сначала напылить базовую пленку, а затем подготовить требуемый мембранный слой.
3. В качестве материала мембраны для реакционного распыления необходимо, чтобы он легко реагировал с газом для образования мембранных соединений; 4.
4. Исходя из требований к эксплуатационным характеристикам мембраны, разница между коэффициентом теплового расширения материала мишени и подложки должна быть как можно меньше, чтобы минимизировать влияние термического напряжения на распыляемую мембрану.
Влияние термического напряжения напыляемой пленки; 5.
5. В соответствии с требованиями к использованию и эксплуатационным характеристикам мембраны целевой материал должен соответствовать чистоте, содержанию примесей, однородности компонентов, точности обработки и другим техническим требованиям.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 21 декабря 2023 г.