Вакуумный напылительный коатер — это устройство, используемое для нанесения тонких пленок материала на подложку. Этот процесс обычно используется в производстве полупроводников, солнечных батарей и различных типов покрытий для оптических и электронных приложений. Вот базовый обзор того, как это работает:
1. Вакуумная камера: процесс происходит внутри вакуумной камеры, что позволяет снизить загрязнение и обеспечить лучший контроль над процессом осаждения.
2.Материал мишени: Материал, который должен быть осажден, называется мишенью. Он помещается внутрь вакуумной камеры.
3. Подложка: Подложка — это материал, на который будет нанесена тонкая пленка. Она также помещается внутрь вакуумной камеры.
4. Генерация плазмы: в камеру вводится инертный газ, обычно аргон. Высокое напряжение подается на мишень, создавая плазму (состояние вещества, состоящее из свободных электронов и ионов).
5.Распыление: Ионы из плазмы сталкиваются с материалом мишени, выбивая атомы или молекулы с мишени. Затем эти частицы проходят через вакуум и осаждаются на подложке, образуя тонкую пленку.
6. Управление: Толщину и состав пленки можно точно контролировать, регулируя такие параметры, как мощность, подаваемая на мишень, давление инертного газа и продолжительность процесса распыления.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 12 июля 2024 г.