Odată cu dezvoltarea tot mai mare a tehnologiei de acoperire prin pulverizare catodică, în special a tehnologiei de acoperire prin pulverizare catodică magnetronică, în prezent, orice material poate fi preparat prin bombardament cu ioni pentru o peliculă țintă. Deoarece ținta este pulverizată în procesul de acoperire pe un anumit tip de substrat, calitatea peliculei pulverizate are un impact important, prin urmare, cerințele privind materialul țintă sunt, de asemenea, mai stricte. La alegerea materialului țintă, pe lângă utilizarea peliculei în sine, ar trebui să se ia în considerare și următoarele aspecte:
1. Materialul țintă trebuie să aibă o bună rezistență mecanică și stabilitate chimică după formarea peliculei
2. Combinația dintre țintă și substrat trebuie să fie puternică; în caz contrar, dacă substratul are o combinație bună de material de membrană, mai întâi se pulverizează o peliculă de bază și apoi se prepară stratul de membrană necesar.
3. ca material al membranei de pulverizare catodică, care reacționează ușor cu gazul pentru a genera compușii membranei; 4.
4. Sub premisa îndeplinirii cerințelor de performanță a membranei, diferența dintre coeficientul de dilatare termică al materialului țintă și substrat este cât mai mică posibil, astfel încât să se minimizeze efectul stresului termic asupra membranei pulverizate.
Influența solicitării termice a peliculei de pulverizare; 5.
5. Conform cerințelor de utilizare și performanță ale membranei, materialul țintă trebuie să îndeplinească cerințele de puritate, conținut de impurități, uniformitate a componentelor, precizie de prelucrare și alte cerințe tehnice.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 21 decembrie 2023