د سپټرینګ ویکیوم کوټر هغه وسیله ده چې د موادو پتلي فلمونه په سبسټریټ کې د زیرمه کولو لپاره کارول کیږي. دا پروسه عموما د سیمیکمډکټرونو، لمریز حجرو، او د نظري او بریښنایی غوښتنلیکونو لپاره د مختلفو ډولونو کوټینګونو په تولید کې کارول کیږي. دلته د دې د کار کولو څرنګوالي یوه اساسي کتنه ده:
۱. د ویکیوم چیمبر: دا پروسه د ویکیوم چیمبر دننه ترسره کیږي ترڅو ککړتیا کمه کړي او د زیرمه کولو پروسې باندې ښه کنټرول ته اجازه ورکړي.
۲. د هدف مواد: هغه مواد چې باید ځای پر ځای شي د هدف په نوم پیژندل کیږي. دا د ویکیوم چیمبر دننه ځای پر ځای کیږي.
۳. سبسټریټ: سبسټریټ هغه مواد دي چې پتلی فلم پرې ایښودل کیږي. دا د ویکیوم چیمبر دننه هم ځای په ځای کیږي.
۴. د پلازما تولید: یو غیر فعال ګاز، معمولا ارګون، چیمبر ته داخلیږي. یو لوړ ولټاژ په هدف باندې تطبیق کیږي، چې پلازما (د مادې یوه حالت چې د آزادو الکترونونو او ایونونو څخه جوړ دی) رامینځته کوي.
۵. تویول: د پلازما څخه آیونونه د هدف موادو سره ټکر کوي، اتومونه یا مالیکولونه له هدف څخه لرې کوي. دا ذرات بیا د خلا له لارې سفر کوي او سبسټریټ ته جمع کیږي، یو پتلی فلم جوړوي.
۶. کنټرول: د فلم ضخامت او جوړښت په دقیق ډول د پیرامیټرو تنظیم کولو سره کنټرول کیدی شي لکه په هدف باندې پلي شوي بریښنا، د غیر فعال ګاز فشار، او د توییدو پروسې موده.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: جولای-۱۲-۲۰۲۴