ଏକ ସ୍ପଟରିଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟର୍ ହେଉଛି ଏକ ଉପକରଣ ଯାହା ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପତଳା ସାମଗ୍ରୀର ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସାଧାରଣତଃ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ, ସୌର କୋଷ ଏବଂ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ଆବରଣ ଉତ୍ପାଦନରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହା କିପରି କାମ କରେ ତାହାର ଏକ ମୌଳିକ ସାରାଂଶ ଏଠାରେ ଦିଆଯାଇଛି:
୧.ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର: ପ୍ରଦୂଷଣ ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉପରେ ଉତ୍ତମ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପାଇଁ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଭିତରେ ହୋଇଥାଏ।
୨.ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ: ଜମା ହେବାକୁ ଥିବା ସାମଗ୍ରୀକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ କୁହାଯାଏ। ଏହାକୁ ଶୂନ୍ୟ ଚାମ୍ବର ଭିତରେ ରଖାଯାଇଛି।
୩.ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍: ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ହେଉଛି ସେହି ସାମଗ୍ରୀ ଯାହା ଉପରେ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା ହେବ। ଏହାକୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଭିତରେ ମଧ୍ୟ ରଖାଯାଇଛି।
୪.ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି: ଏକ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ, ସାଧାରଣତଃ ଆର୍ଗନ୍, ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ। ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ ଭୋଲଟେଜ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ, ଯାହା ଏକ ପ୍ଲାଜମା (ମୁକ୍ତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ଆୟନ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ପଦାର୍ଥର ଏକ ଅବସ୍ଥା) ସୃଷ୍ଟି କରେ।
୫.ସ୍ପୁଟରିଂ: ପ୍ଲାଜମାରୁ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ଧକ୍କା ହୋଇ ପରମାଣୁ କିମ୍ବା ଅଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟରୁ ଦୂରେଇ ଦିଅନ୍ତି। ଏହି କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ତା'ପରେ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଦେଇ ଯାତ୍ରା କରନ୍ତି ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରନ୍ତି।
୬.ନିୟନ୍ତ୍ରଣ: ଟାର୍ଗେଟରେ ପ୍ରୟୋଗ ହୋଇଥିବା ଶକ୍ତି, ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସର ଚାପ ଏବଂ ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଅବଧି ଭଳି ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ସଜାଡ଼ି ଫିଲ୍ମର ଘନତା ଏବଂ ଗଠନକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ-୧୨-୨୦୨୪