स्पटरिङ भ्याकुम कोटर भनेको सब्सट्रेटमा सामग्रीको पातलो फिल्महरू जम्मा गर्न प्रयोग गरिने उपकरण हो। यो प्रक्रिया सामान्यतया अर्धचालक, सौर्य कोषहरू, र अप्टिकल र इलेक्ट्रोनिक अनुप्रयोगहरूको लागि विभिन्न प्रकारका कोटिंगहरूको उत्पादनमा प्रयोग गरिन्छ। यो कसरी काम गर्छ भन्ने बारे यहाँ आधारभूत सिंहावलोकन छ:
१. भ्याकुम चेम्बर: यो प्रक्रिया प्रदूषण कम गर्न र निक्षेपण प्रक्रियामा राम्रो नियन्त्रणको लागि भ्याकुम चेम्बर भित्र गरिन्छ।
२. लक्षित सामग्री: जम्मा गरिने सामग्रीलाई लक्ष्य भनिन्छ। यो भ्याकुम चेम्बर भित्र राखिएको हुन्छ।
३.सब्सट्रेट: सब्सट्रेट त्यो सामग्री हो जसमा पातलो फिल्म जम्मा गरिनेछ। यसलाई भ्याकुम चेम्बर भित्र पनि राखिएको हुन्छ।
४. प्लाज्मा उत्पादन: एउटा निष्क्रिय ग्यास, सामान्यतया आर्गन, चेम्बरमा प्रवेश गरिन्छ। लक्ष्यमा उच्च भोल्टेज लागू गरिन्छ, जसले प्लाज्मा (मुक्त इलेक्ट्रोन र आयनहरू मिलेर बनेको पदार्थको अवस्था) सिर्जना गर्दछ।
५. स्पटरिङ: प्लाज्माबाट आयनहरू लक्षित सामग्रीसँग ठोक्किन्छन्, जसले परमाणु वा अणुहरूलाई लक्ष्यबाट टाढा धकेल्छन्। यी कणहरू त्यसपछि भ्याकुम हुँदै यात्रा गर्छन् र सब्सट्रेटमा जम्मा हुन्छन्, जसले गर्दा पातलो फिल्म बन्छ।
६.नियन्त्रण: फिल्मको मोटाई र संरचनालाई लक्ष्यमा लागू गरिएको शक्ति, निष्क्रिय ग्यासको दबाब, र स्पटरिङ प्रक्रियाको अवधि जस्ता प्यारामिटरहरू समायोजन गरेर सटीक रूपमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: जुलाई-१२-२०२४