ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပြုလုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များ—Physical Vapor Deposition (PVD)၊ Magnetron Sputtering နှင့် Ion Plating အပါအဝင်—ကို မှန်ဘီလူး၊ မော်တော်ကား၊ အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းများတွင် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုကြသည်။ သိပ်သည်းပြီး ကပ်ငြိလွယ်သော၊ လုပ်ဆောင်နိုင်စွမ်းရှိသော အလွှာပါးများထုတ်လုပ်ရာတွင် အားသာချက်များရှိသော်လည်း ထုတ်လုပ်သူများသည် အလွှာပါးချို့ယွင်းချက်များကို မကြာခဏကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသည်။ ဤပြဿနာများသည် အလွှာစွမ်းဆောင်ရည်၊ ထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။
ဤဆောင်းပါးသည် အဖြစ်အများဆုံး အပေါ်ယံလွှာ ချို့ယွင်းချက်များနှင့် သက်ဆိုင်ရာ အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ တန်ပြန်အစီအမံများကို အကျဉ်းချုပ်ဖော်ပြထားသည်။
၁။ တစ်ပြေးညီမဟုတ်သော ဖလင်အထူ
ပုံမှန်အကြောင်းရင်းများ-
ပစ်မှတ်မှ အလွှာသို့ ဂျီသြမေတြီ မမှန်ကန်ခြင်း
မလုံလောက်သော သို့မဟုတ် မတိကျသော အောက်ခံလှုပ်ရှားမှု (လည်ပတ်မှု၊ ဂြိုဟ်ရွေ့လျားမှု သို့မဟုတ် မျဉ်းဖြောင့်သယ်ယူပို့ဆောင်ရေး)
ဧရိယာကျယ်ကြီးတစ်ခုတွင် ပလာစမာသိပ်သည်းဆ gradient များ
နည်းပညာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များ-
ထောင့်ခွဲဝေမှု ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်အတွက် cathode/target array ဒီဇိုင်းကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ပါ
ဒေသတွင်း ကွဲပြားမှုများကို ပြန်လည်ဖြည့်ဆည်းရန် အောက်ခံ တပ်ဆင်မှုနှင့် ရွေ့လျားမှု ထိန်းချုပ်မှုကို မြှင့်တင်ပါ
အလုပ်လုပ်ဖိအား၊ ပါဝါဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် သံလိုက်စက်ကွင်းဖွဲ့စည်းပုံကို အသေးစိတ်ချိန်ညှိပါ
၂။ ကပ်ငြိမှု ညံ့ဖျင်းခြင်း/ ဖလင်ကွာကျခြင်း
ပုံမှန်အကြောင်းရင်းများ-
ညစ်ညမ်းနေသော အောက်ခံမျက်နှာပြင် (ဆီကျန်၊ အစိုဓာတ် သို့မဟုတ် မူလအောက်ဆိုဒ်များ)
စုပုံနေသောအလွှာအတွင်း မြင့်မားသော intrinsic stress
ကပ်ငြိမှုကို အားပေးသည့် အကြားအလွှာများ မရှိခြင်း
နည်းပညာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များ-
အောက်ခံအလွှာကြိုတင်ကုသမှုကို အားကောင်းစေပါ- အသံလှိုင်းဖြင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်း၊ ပလာစမာထွင်းခြင်း သို့မဟုတ် အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်း
ဖိစီးမှုစုပုံမှုကို လျှော့ချရန် substrate bias voltage နှင့် အပူချိန်ကို ချိန်ညှိပါ
ဖလင်နှင့်အလွှာ ချိတ်ဆက်မှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေရန် Ti သို့မဟုတ် Cr ကဲ့သို့သော အလယ်အလတ်ကပ်ငြိမှုအလွှာများကို မိတ်ဆက်ပေးပါ။
၃။ အပေါက်ငယ်များနှင့် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းခြင်း
ပုံမှန်အကြောင်းရင်းများ-
ဖုန်စုပ်ခန်းအတွင်းရှိ အမှုန်အမွှားများညစ်ညမ်းခြင်း
ဖြန်းဆေးစဉ်အတွင်း ပစ်မှတ်ကွေးခြင်း သို့မဟုတ် မျက်နှာပြင်ကွာကျခြင်း
ပန့်စနစ်များမှ ရေနံငွေ့များ ပြန်လည်စီးဆင်းခြင်း
နည်းပညာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များ-
သန့်ရှင်းသောအခန်းအဆင့် တင်ဆောင်ခြင်းနှင့် ကိုင်တွယ်ခြင်းဆိုင်ရာ လုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကို ထိန်းသိမ်းပါ
တံတွေးထွေးခြင်းနှင့် အဖတ်ကွာကျခြင်းကို လျှော့ချရန်အတွက် မြင့်မားသောသန့်စင်မှု၊ ကောင်းမွန်စွာ ကပ်ငြိနေသော ပစ်မှတ်များကို အသုံးပြုပါ။
ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ရန်အတွက် ပန့်များကို မှန်မှန်ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းပြီး ဆီထောင်ချောက်များ သို့မဟုတ် cryogenic baffles များ တပ်ဆင်ပါ။
၄။ အက်ကွဲခြင်း သို့မဟုတ် ဖလင်ဖိစီးမှုပျက်ကွက်ခြင်း
ပုံမှန်အကြောင်းရင်းများ-
အလွှာထူများတွင် အလွန်အကျွံ အတွင်းပိုင်းဖိအား
အပေါ်ယံလွှာနှင့် အောက်ခံအလွှာကြားရှိ အပူချဲ့ထွင်မှု မကိုက်ညီမှု
အပူ/အအေး လျင်မြန်စွာ လည်ပတ်မှုကြောင့် အပူရှော့ခ် ဖြစ်ပေါ်စေခြင်း
နည်းပညာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များ-
ဖိစီးမှုစုပုံမှုကို လျှော့ချရန် ဖလင်အထူနှင့် အနည်ထိုင်မှုနှုန်းကို ထိန်းချုပ်ပါ
ဖိစီးမှုပမာဏကို လျှော့ချရန်အတွက် အလွှာများစွာ သို့မဟုတ် အဆင့်သတ်မှတ်ထားသော အပေါ်ယံလွှာများကို ဒီဇိုင်းထုတ်ပါ
လုပ်ငန်းစဉ်လည်ပတ်မှုကာလအတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသော အပူချိန်မြှင့်တင်မှုကို အကောင်အထည်ဖော်ပါ။
၅။ အရောင်ပြောင်းလဲမှုနှင့် အလင်းအမှောင် မညီညာမှု
ပုံမှန်အကြောင်းရင်းများ-
အလင်းဆိုင်ရာ အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေသော အပေါ်ယံလွှာများတွင် အထူသွေဖည်မှု
ဓာတ်ပြုမှုဖြင့် ဖြန်းထုတ်ခြင်း (O₂၊ N₂ စသည်) အတွင်း ဓာတ်ပြုမှု မတည်ငြိမ်သော ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှု
ပါဝါထောက်ပံ့မှု အတက်အကျ သို့မဟုတ် arc မတည်ငြိမ်မှု
နည်းပညာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များ-
လုပ်ငန်းခွင်အတွင်း စောင့်ကြည့်ရေးစနစ်များ (ကွာ့ဇ် ခရစ်စတယ် မော်နီတာများ၊ အလင်းတန်း စောင့်ကြည့်ခြင်း) ကို အသုံးပြုပါ။
ဒြပ်ထုစီးဆင်းမှု ထိန်းချုပ်ကိရိယာများ (MFCs) ကို အသုံးပြု၍ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို တည်ငြိမ်အောင်ပြုလုပ်ပါ
arc-suppression နှင့် feedback control ဖြင့် တည်ငြိမ်သော ပါဝါပေးပို့မှုကို သေချာစေပါ
နိဂုံးချုပ်
ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာအရည်အသွေးသည် အောက်ခံပြင်ဆင်မှု၊ လုပ်ငန်းစဉ်ကန့်သတ်ချက်များ၊ အခန်းပတ်ဝန်းကျင်နှင့် စက်ပစ္စည်းတည်ငြိမ်မှုတို့အပေါ် များစွာထိခိုက်လွယ်ပါသည်။ အင်ဂျင်နီယာအခြေပြုဖြေရှင်းနည်းများဖြင့် အထက်ဖော်ပြပါချို့ယွင်းချက်များကို စနစ်တကျဖြေရှင်းခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် အောက်ပါတို့ကို ရရှိနိုင်ပါသည်-
သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဖလင်တစ်ပြေးညီဖြစ်မှု
ခိုင်မာသော ကပ်ငြိမှုနှင့် တာရှည်ခံမှု
ထုတ်လုပ်မှုအသုတ်များတွင် မြင့်မားသော ပြန်လည်ထုတ်လုပ်နိုင်မှု
အဆုံးစွန်အားဖြင့်၊ ခိုင်မာသောချို့ယွင်းချက်ထိန်းချုပ်မှုသည် ဖုန်စုပ်ထားသောထုတ်ကုန်များသည် မှန်ဘီလူး၊ မော်တော်ကား၊ အီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာလုပ်ငန်းများ၏ တင်းကျပ်သောစွမ်းဆောင်ရည်လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေသည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူ ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ စက်တင်ဘာလ ၂၀ ရက်