Àwọn Àbùkù Tó Wọ́pọ̀ Nínú Ìbòrí Ẹ̀rọ Amúlétutù àti Àwọn Ìdáhùn Ìmọ̀-ẹ̀rọ Wọn

Àwọn ìlànà ìbòrí ìgbálẹ̀—pẹ̀lú Physical Vapor Deposition (PVD), Magnetron Sputtering, àti Ion Plating—ni a lò ní àwọn ohun èlò ìwòsàn, ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́, ẹ̀rọ itanna, àti àwọn ẹ̀rọ ìṣègùn. Láìka àwọn àǹfààní wọn sí ṣíṣe àwọn fíìmù tín-tín tó lágbára, tó lẹ̀ mọ́ ara wọn, àti tó ń ṣiṣẹ́ sí, àwọn olùṣelọpọ sábà máa ń dojúkọ àwọn àbùkù ìbòrí tó ń ṣẹlẹ̀. Àwọn ìṣòro wọ̀nyí ní ipa lórí iṣẹ́ fíìmù, ìṣẹ̀dá rẹ̀, àti ìgbẹ́kẹ̀lé iṣẹ́ náà.

Àpilẹ̀kọ yìí ṣàkópọ̀ àwọn àbùkù ìbòrí tó wọ́pọ̀ jùlọ àti àwọn ìgbésẹ̀ ìwádìí ẹ̀rọ tó báramu.

1. Sisanra Fíìmù Tí Kò Dára

Àwọn Okùnfà Tó Wà Púpọ̀:

Ìrísí ojú-ìwòye tí kò tọ́ tí a lè fojú sí láti fi ṣe àkójọpọ̀

Ìṣípò ìṣàn omi tí kò tó tàbí tí kò péye (yíyípo, ìṣípò pílánẹ́ẹ̀tì, tàbí ìṣípò ìlànà)

Awọn ipele iwuwo pilasima ni ibi ipamọ agbegbe nla

Awọn Ojutu Imọ-ẹrọ:

Ṣe àgbékalẹ̀ àkójọpọ̀ katódì/àfojúsùn fún ìpínkiri igun tó dára jù

Mu fifi sori ẹrọ substrate ati iṣakoso išipopada pọ si lati sanpada fun awọn iyipada agbegbe

Ṣe àtúnṣe titẹ iṣẹ́, pinpin agbara, àti ìṣètò pápá oofa

2. Ìfàmọ́ra tí kò dára / Ìparẹ́ Fíìmù

Àwọn Okùnfà Tó Wà Púpọ̀:

Oju ilẹ ti o ni idoti (epo to ku, ọrinrin, tabi awọn ohun elo afẹfẹ abinibi)

Ìṣòro tó ga nínú ara wa láàrín ipele tí a kó pamọ́

Àìsí àwọn àárín àwọn ìlẹ̀kẹ̀ tí ń gbé ìfọmọ́ra lárugẹ

Awọn Ojutu Imọ-ẹrọ:

Ṣíṣe àtúnṣe ṣáájú ìtọ́jú ohun èlò ìṣàn omi lágbára: ìwẹ̀nùmọ́ ultrasonic, ìfọ́mọ́ plasma, tàbí ìbọn ion

Ṣàtúnṣe foliteji substrate bias ati iwọn otutu lati dinku ikojọpọ wahala

Ṣe agbekalẹ awọn fẹlẹfẹlẹ asopọ aarin bii Ti tabi Cr lati mu isopọmọ-fiimu-substrate dara si

3. Àwọn ihò àti ìbàjẹ́ àwọn èròjà

Àwọn Okùnfà Tó Wà Púpọ̀:

Ìbàjẹ́ èròjà inú yàrá ìgbàlejò

Ìfọ́jú tàbí fífọ́ ojú ilẹ̀ nígbà tí a bá ń gbọ̀n

Àtúnṣe àwọn èéfín epo láti inú àwọn ètò ìfúnpọ̀ omi

Awọn Ojutu Imọ-ẹrọ:

Ṣetọju awọn ilana fifuye ati mimu ipele yara mimọ

Lo àwọn ibi tí ó mọ́ tónítóní, tí ó so pọ̀ dáadáa láti dín ìtútọ́ àti ìfọ́ kù

Ṣe àtúnṣe àwọn ẹ̀rọ ìfọ́ epo déédéé, kí o sì fi àwọn páìpù epo tàbí àwọn baffles tí ó ń pani lẹ́rìn-ín sí i láti dènà ìbàjẹ́.

4. Ìkùnà ìfọ́ tàbí àìfararọ fíìmù

Àwọn Okùnfà Tó Wà Púpọ̀:

Ìṣòro tó pọ̀ jù nínú àwọn aṣọ tó nípọn

Àìbáramu ìfàsẹ́yìn ooru láàrin ìbòrí àti substrate

Àwọn ìyípo ìgbóná/ìtútù kíákíá tó ń fa ìpayà ooru

Awọn Ojutu Imọ-ẹrọ:

Ṣàkóso sisanra fíìmù àti ìwọ̀n ìfipamọ́ láti dín ìkórajọ wahala kù

Ṣe apẹẹrẹ awọn aṣọ ibora onipele pupọ tabi ti a ṣe iwọn lati dinku ifọkansi wahala

Ṣe imudọgba iwọn otutu ti a ṣakoso lakoko awọn iyipo ilana

5. Ìyípadà Àwọ̀ àti Àìbáramu Ojú

Àwọn Okùnfà Tó Wà Púpọ̀:

Iyapa sisanra ninu awọn ideri kikọlu opitika

Ìṣàn gáàsì tí kò dúró ṣinṣin nígbà tí a bá ń ṣe ìfọ́wọ́sí (O₂, N₂, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ)

Àwọn ìyípadà ìpèsè agbára tàbí àìdúróṣinṣin arc

Awọn Ojutu Imọ-ẹrọ:

Lo awọn eto ibojuwo inu-ibi (awọn iboju kiristali quartz, ibojuwo opitika)

Ṣe ìdúróṣinṣin ìṣàn gaasi nípa lílo àwọn olùdarí ìṣàn gaasi (MFCs)

Rii daju pe ifijiṣẹ agbara iduroṣinṣin pẹlu idinku arc ati iṣakoso esi

Ìparí

Dídára ìbòrí ìgbálẹ̀ jẹ́ ohun tó ṣe pàtàkì sí ìpèsè ohun èlò, àwọn ìlànà iṣẹ́, àyíká yàrá, àti ìdúróṣinṣin ohun èlò. Nípa ṣíṣàtúnṣe àwọn àbùkù tí a mẹ́nu kàn lókè yìí pẹ̀lú àwọn ọ̀nà tí a fi ìmọ̀ ẹ̀rọ ṣe, àwọn olùpèsè lè ṣe àṣeyọrí:

Iṣọkan fiimu ti o ga julọ

Líle ìfaramọ́ àti agbára tó lágbára

Atunṣe giga kọja awọn ipele iṣelọpọ

Níkẹyìn, ìṣàkóso àbùkù tó lágbára ń rí i dájú pé àwọn ọjà tí a fi omi bò bá àwọn ohun èlò ìṣe tó le koko mu ti àwọn ilé iṣẹ́ optics, motorization, electronics, àti ìṣègùn.

—A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde nípasẹ̀ ẹrọ ti a fi bo igbaleolupese Zhenhua Vacuum