Вакуум бүрэх процессууд - үүнд физик уурын хуримтлал (PVD), соронзон цацалт, ионы бүрэлт зэрэг - оптик, автомашин, электроник, эмнэлгийн хэрэгсэлд өргөн хэрэглэгддэг. Нягт, наалддаг, ажиллагаатай нимгэн хальс үйлдвэрлэх давуу талуудтай хэдий ч үйлдвэрлэгчид бүрхүүлийн давтагдах согогтой тулгардаг. Эдгээр асуудлууд нь хальсны гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн гарц, процессын найдвартай байдалд шууд нөлөөлдөг.
Энэ нийтлэлд хамгийн түгээмэл бүрхүүлийн согог болон холбогдох инженерийн эсрэг арга хэмжээг нэгтгэн дүгнэв.
1. Жигд бус хальсны зузаан
Ердийн шалтгаанууд:
Байгаас субстрат руу чиглэсэн геометр буруу байна
Субстратын хөдөлгөөн хангалтгүй эсвэл буруу (эргэлт, гаригийн хөдөлгөөн эсвэл шугаман тээвэрлэлт)
Том талбайн тунадасжилт дахь плазмын нягтралын градиентууд
Техникийн шийдлүүд:
Илүү сайн өнцгийн тархалтыг хангахын тулд катод/бай массивын загварыг оновчтой болгох
Орон нутгийн өөрчлөлтийг нөхөхийн тулд суурийн бэхэлгээ болон хөдөлгөөний хяналтыг сайжруулна
Ажлын даралт, чадлын хуваарилалт болон соронзон орны тохиргоог нарийн тохируулах
2. Наалдац муу / хальсны давхаргажилт муу
Ердийн шалтгаанууд:
Бохирдсон суурь гадаргуу (үлдэгдэл тос, чийг эсвэл уугуул исэл)
Тунадсан давхарга доторх өндөр дотоод стресс
Наалдацыг нэмэгдүүлдэг давхаргын дутагдал
Техникийн шийдлүүд:
Субстратын урьдчилсан боловсруулалтыг бэхжүүлэх: хэт авианы цэвэрлэгээ, плазмын сийлбэр эсвэл ионы бөмбөгдөлт
Стрессийн хуримтлалыг багасгахын тулд суурийн хэвийлтийн хүчдэл ба температурыг тохируулна уу
Кино-субстратын холбоог сайжруулахын тулд Ti эсвэл Cr зэрэг завсрын наалдамхай давхаргыг нэвтрүүлнэ
3. Нүхний нүх ба бөөмсийн бохирдол
Ердийн шалтгаанууд:
Вакуум камер доторх тоосонцрын бохирдол
Шүрших үед бай нуман хэлбэртэй болох эсвэл гадаргуугийн хальслах
Шахуургын системээс газрын тосны уурыг буцаан урсгах
Техникийн шийдлүүд:
Цэвэр өрөөний түвшний ачих, зөөвөрлөх протоколыг хадгалах
Нулимах болон хальслахыг багасгахын тулд өндөр цэвэршилттэй, сайн холбогдсон байг ашиглана уу
Бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд насосыг тогтмол засварлаж, тосны хавх эсвэл криоген хаалт суурилуулна уу
4. Хагарал эсвэл хальсны стрессийн эвдрэл
Ердийн шалтгаанууд:
Зузаан бүрхүүл дэх хэт их дотоод стресс
Бүрхүүл ба суурь хоорондын дулааны тэлэлтийн зөрүү
Дулааны цочрол үүсгэдэг хурдан халаалт/хөргөлтийн мөчлөг
Техникийн шийдлүүд:
Стрессийн хуримтлалыг бууруулахын тулд хальсны зузаан болон тунадасны хурдыг хянана
Стрессийн концентрацийг бууруулахын тулд олон давхаргат эсвэл зэрэглэлийн бүрхүүл зохион бүтээх
Үйл явцын мөчлөгийн үед температурын хяналттай өсөлтийг хэрэгжүүлнэ
5. Өнгөний өөрчлөлт ба оптик тогтворгүй байдал
Ердийн шалтгаанууд:
Оптик интерференцийн бүрхүүл дэх зузааны хазайлт
Урвалттай шүрших үед тогтворгүй урвалд ордог хийн урсгал (O₂, N₂ гэх мэт)
Цахилгаан хангамжийн хэлбэлзэл эсвэл нумын тогтворгүй байдал
Техникийн шийдлүүд:
Газар дээрх хяналтын систем (кварцын болор монитор, оптик хяналт) ашиглах
Массын урсгалын хянагч (MFC) ашиглан хийн урсгалыг тогтворжуулах
Нуман дарах болон санал хүсэлтийн хяналттайгаар тогтвортой цахилгаан хангамжийг хангах
Дүгнэлт
Вакуум бүрхүүлийн чанар нь суурь бэлтгэл, процессын параметрүүд, камерын орчин, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдалд маш мэдрэмтгий байдаг. Дээрх согогийг инженерчлэлд суурилсан шийдлүүдээр системтэйгээр шийдвэрлэснээр үйлдвэрлэгчид дараахь зүйлийг хийж чадна.
Киноны дээд зэргийн жигд байдал
Хүчтэй наалдац ба бат бөх чанар
Үйлдвэрлэлийн багцуудад өндөр давтагдах чадвар
Эцсийн эцэст, бат бөх согогийн хяналт нь вакуум бүрсэн бүтээгдэхүүн нь оптик, автомашин, электроник, анагаах ухааны салбарын хатуу гүйцэтгэлийн шаардлагыг хангаж байгааг баталгаажуулдаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 20