Pêvajoyên pêçandina valûmê - di nav de Depozîsyona Buxara Fizîkî (PVD), Sputterkirina Magnetronê, û Platkirina Îyonê - bi berfirehî di optîk, otomatîv, elektronîk û cîhazên bijîşkî de têne bikar anîn. Tevî avantajên wan di hilberîna fîlimên zirav, zeliqok û fonksiyonel de, hilberîner pir caran bi kêmasiyên pêçandinê yên dubare re rû bi rû dimînin. Ev pirsgirêk rasterast bandorê li performansa fîlimê, berhema hilberînê û pêbaweriya pêvajoyê dikin.
Ev gotar kêmasiyên pêçandinê yên herî gelemperî û tedbîrên dijberiya endezyariyê yên têkildar kurte dike.
1. Qalindahiya Fîlmê ya Neyeksan
Sedemên Tîpîk:
Geometrîya hedef-ber-substratê nerast
Tevgera substratê ya ne têrker an nerast (zivirandin, tevgera gerstêrkê, an veguhastina xêzikî)
Gradientên dendika plazmayê di depoya qada mezin de
Çareseriyên Teknîkî:
Ji bo belavkirina goşeyî ya çêtir sêwirana rêza katodê/hedefê baştir bikin
Ji bo telafîkirina guherînên herêmî, rastkirina substratê û kontrola tevgerê baştir bikin.
Mîhengkirina zexta xebatê, belavkirina hêzê, û veavakirina qada magnetîkî bi awayekî baş
2. Pêvek / Veqetandina Fîlmê ya Kêm
Sedemên Tîpîk:
Rûyê substratê yê qirêj (rûnê mayî, şilbûn, an oksîdên xwemalî)
Stresa navxweyî ya bilind di nav qata razandî de
Nebûna navberçeyên ku zeliqandinê pêşve dixin
Çareseriyên Teknîkî:
Pêş-dermankirina substratê xurt bikin: paqijkirina ultrasonîk, gravkirina plazmayê, an bombebarana iyonê
Voltaja û germahiya alîgirê substratê rast bikin da ku kombûna stresê kêm bikin
Ji bo baştirkirina girêdana fîlm-substratê, qatên pêvedana navîn ên wekî Ti an Cr bicîh bînin.
3. Kunên Biçûk û Gemarbûna Perçeyan
Sedemên Tîpîk:
Gemarbûna perçeyan di hundirê odeya valahiyê de
Kevirbûna hedef an jî perçebûna rûyê di dema sputterkirinê de
Vegerandina buhara petrolê ji sîstemên pompkirinê
Çareseriyên Teknîkî:
Protokolên barkirin û hilgirtinê yên asta odeya paqij biparêzin
Ji bo kêmkirina tifkirin û perçebûnê, hedefên paqijiya bilind û baş-girêdayî bikar bînin.
Pompan bi rêkûpêk tamîr bikin û dafikên rûnê an jî baflên krîyojenîk saz bikin da ku ji qirêjbûnê dûr bikevin.
4. Şikestin an jî têkçûna stresa fîlmê
Sedemên Tîpîk:
Stresa navxweyî ya zêde di pêçanên stûr de
Nelihevhatina berfirehbûna germî di navbera pêçandin û substratê de
Çerxên germkirin/sarbûnê yên bilez dibin sedema şoka germî
Çareseriyên Teknîkî:
Ji bo kêmkirina kombûna stresê, stûriya fîlmê û rêjeya danîna wê kontrol bikin
Ji bo kêmkirina giraniya stresê, pêçanên pirqatî an jî pilekirî sêwirînin
Di dema çerxên pêvajoyê de zêdebûna germahiya kontrolkirî bicîh bînin
5. Guhertina Reng û Nelihevhatina Optîkî
Sedemên Tîpîk:
Devjêberdana stûriyê di pêçanên destwerdana optîkî de
Herikîna gaza reaktîf a nearam di dema sputterkirina reaktîf de (O₂, N₂, hwd.)
Guhertinên dabînkirina hêzê an bêîstîqrariya kevanê
Çareseriyên Teknîkî:
Sîstemên çavdêriya di cîh de bikar bînin (monîtorên krîstala kuartz, çavdêriya optîkî)
Bi karanîna kontrolkerên herikîna girseyî (MFC) herikîna gazê stabîl bikin
Bi tepeserkirina arkê û kontrola bersivê radestkirina hêzê ya stabîl misoger bikin
Xelasî
Kalîteya boyaxkirina vakumê li gorî amadekirina substratê, parametreyên pêvajoyê, jîngeha odeyê û aramiya alavan pir hesas e. Bi çareserkirina sîstematîk a kêmasiyên jorîn bi çareseriyên endezyariyê, hilberîner dikarin bi dest bixin:
Yekrengiya fîlmê ya bilindtir
Pêvekirin û domdariya xurt
Dubarekirina bilind di nav komên hilberînê de
Di dawiyê de, kontrolkirina kêmasiyên bihêz piştrast dike ku hilberên bi valahiya pêçayî şertên performansa hişk ên pîşesaziyên optîk, otomatîv, elektronîk û bijîşkî bicîh tînin.
— Ev gotar ji hêla alavên boyaxkirina valahiyêhilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: Îlon-20-2025