Maitiro ekuputira vacuum coating—anosanganisira Physical Vapor Deposition (PVD), Magnetron Sputtering, uye Ion Plating—anoshandiswa zvakanyanya mu optics, mota, zvemagetsi, uye zvekurapa. Pasinei nezvakanaka zvavo mukugadzira mafirimu matete, anonamatira, uye anoshanda, vagadziri vanowanzosangana nezvikanganiso zve coating zvinogara zvichiitika. Matambudziko aya anokanganisa zvakananga mashandiro efirimu, goho rekugadzira, uye kuvimbika kwemaitiro.
Chinyorwa chino chinotsanangura zvikanganiso zvinowanzoonekwa pakuputira uye matanho ekudzivirira anoenderana nawo.
1. Ukobvu hwemafirimu husina kufanana
Zvikonzero Zvakajairika:
Geometry isina kunaka kubva pane chinangwa kuenda kune substrate
Kusafamba zvakanaka kana kusina kururama kwe substrate (kutenderera, kufamba kwepasi, kana kutakurwa kwakatwasuka)
Kuwanda kwehuwandu hweplasma munzvimbo yakakura
Mhinduro dzehunyanzvi:
Gadzirisa dhizaini ye cathode/target array kuti ugovane angular zviri nani
Kuvandudza kugadzirisa kwe substrate uye kudzora kufamba kwemuchina kuti zvikwanisike kutsiva shanduko dzemunzvimbo yacho
Gadzirisa kushanda zvakanaka, kugoverwa kwesimba, uye magadzirirwo esimba remagineti
2. Kubata Zvisina Kunaka / Kubvisa Mafirimu
Zvikonzero Zvakajairika:
Pamusoro pe substrate yakasvibiswa (mafuta akasara, hunyoro, kana ma oxide emuno)
Kushushikana kwakanyanya mukati mechikamu chakaiswa
Kushaikwa kwezvikamu zvinosimudzira kubatana
Mhinduro dzehunyanzvi:
Simbisa substrate isati yatanga kurapwa: kuchenesa ne ultrasonic, plasma etching, kana ion bombardment
Gadzirisa voltage ye substrate bias uye tembiricha kuti uderedze kuunganidzwa kwezvinetso
Isa zvikamu zvepakati zvekunamatira zvakaita seTi kana Cr kuti uvandudze kubatana kwefirimu nesubstrate
3. Maburi ePinholes uye Kusvibiswa kweZvidimbu
Zvikonzero Zvakajairika:
Kusvibiswa kwezvikamu mukati memukamuri we vacuum
Kupwanya kwenzvimbo kana kupwanya pamusoro penzvimbo panguva yekupwanya
Kudzoserwa kwemafuta kubva mupombi dzemvura
Mhinduro dzehunyanzvi:
Chengetedza nzira dzekurodha nekubata zvinhu dzakachena munzvimbo dzakachena
Shandisa zvinhu zvakachena uye zvakabatana zvakanaka kuti uderedze kusvipa nekubuda kwetsvina
Gara uchigadzirisa mapombi uye isa matrap emafuta kana ma cryogenic baffles kudzivirira kusvibiswa
4. Kukundikana Kutsemuka kana Kukundikana Kushushikana Nefirimu
Zvikonzero Zvakajairika:
Kushushikana kwakanyanya mukati memukati mezvipfeko gobvu
Kusawirirana kwekuwedzera kwekupisa pakati pekuputira ne substrate
Kupisa/kutonhodza nekukurumidza kunokonzera kuvhunduka kwekupisa
Mhinduro dzehunyanzvi:
Kudzora ukobvu hwefirimu uye mwero wekuisa zvinhu kuti uderedze kuunganidzwa kwezvinetso
Gadzira machira ekuwedzera kana kuti akarongwa kuti uderedze kushushikana
Shandisa kudzora tembiricha panguva yemaitiro ekuita zvinhu
5. Kuchinja kwemavara uye kusaenderana kwemaziso
Zvikonzero Zvakajairika:
Kutsauka kwekukora kwezvipfeko zve optical interference
Kuyerera kwegasi rinoita basa risina kugadzikana panguva yekubuda kwegasi rinoita basa (O₂, N₂, nezvimwewo)
Kuchinja-chinja kwemagetsi kana kusagadzikana kwearc
Mhinduro dzehunyanzvi:
Shandisa masisitimu ekutarisa aripo (quartz crystal monitors, optical monitoring)
Gadzirisa kuyerera kwegasi uchishandisa mass flow controllers (MFCs)
Iva nechokwadi chekuti magetsi anoenda zvakanaka nekudzvanywa kwearc uye kudzora mhinduro
Mhedziso
Hunhu hwekuvhara vacuum hunonyanya kuenderana nekugadzirwa kwe substrate, maitiro ekushanda, nharaunda yekamuri, uye kugadzikana kwemidziyo. Nekugadzirisa zvakarongeka zvikanganiso zviri pamusoro apa nemhinduro dzinobva kuinjiniya, vagadziri vanogona kuita zvinotevera:
Kufanana kwefirimu kwepamusoro-soro
Kunamatira kwakasimba uye kugara kwenguva refu
Kukwanisa kudzokororwa zvakanyanya mumabheti ekugadzira
Pakupedzisira, kudzora zvikanganiso kwakasimba kunoita kuti zvigadzirwa zvakaputirwa ne vacuum zvisangane nezvinodiwa zvakasimba zvemaindasitiri e optics, mota, zvemagetsi, uye zvekurapa.
—Nyaya iyi yakaburitswa na midziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Gunyana-20-2025