Hawsha dahaarka faakuumka - oo ay ku jiraan Fiisikiska Uumiga Dhimirka (PVD), Magnetron Sputtering, iyo Ion Plating - ayaa si weyn loogu isticmaalaa muraayadaha indhaha, baabuurta, elektaroonigga, iyo aaladaha caafimaadka. Iyadoo ay faa'iido u leeyihiin soo saarista filimada khafiifka ah ee cufan, dhegdheg leh, iyo kuwa shaqeynaya, soosaarayaashu waxay inta badan la kulmaan cillado dahaarka oo soo noqnoqda. Arrimahani waxay si toos ah u saameeyaan waxqabadka filimka, wax soo saarka wax soo saarka, iyo isku hallaynta habka.
Maqaalkani wuxuu soo koobayaa cilladaha dahaarka ee ugu badan iyo tallaabooyinka injineernimada ee u dhigma.
1. Dhumucda Filimada Aan Isku Midka Ahayn
Sababaha Caadiga ah:
Joomatari aan habboonayn oo bartilmaameed-ilaa-substrate ah
Dhaqdhaqaaqa substrate-ka oo aan ku filnayn ama aan sax ahayn (wareeg, dhaqdhaqaaq meere, ama gaadiid toosan)
Jaangooyooyinka cufnaanta balaasmaha ee dhigaalka dhul ballaaran
Xalalka Farsamada:
Hagaaji naqshadaynta shaxda cathode/bartilmaameedka si loo helo qaybin xagal oo wanaagsan
Kobcinta qalabka substrate-ka iyo xakamaynta dhaqdhaqaaqa si loo magdhabo kala duwanaanshaha maxalliga ah
Hagaaji cadaadiska shaqada, qaybinta awoodda, iyo qaabeynta goobta birlabta
2. Ku dhegid liidata / Kala-soocidda Filimada
Sababaha Caadiga ah:
Dusha sare ee wasakhaysan (saliid haraaga ah, qoyaan, ama oksaydhyada asalka ah)
Cadaadis sare oo gudaha ah oo ku jira lakabka la dhigay
La'aanta lakabyada isku-xidhka ee kor u qaada isku-dhejinta
Xalalka Farsamada:
Xooji substrate-ka ka hor daaweynta: nadiifinta ultrasonic, xoqidda plasma, ama bamgareynta ion
Hagaaji danabka iyo heerkulka eexda eexda ee substrate-ka si loo yareeyo ururinta walbahaarka
Soo bandhig lakabyo dhejis dhexdhexaad ah sida Ti ama Cr si loo hagaajiyo isku xirka substrate-ka filimka
3. Godad iyo Wasakheynta Walxaha
Sababaha Caadiga ah:
Wasakhowga walxaha ku jira gudaha qolka faakuumka
Bartilmaameed qallooc ama jeexjeex dusha sare inta lagu jiro buufinta
Dib-u-soo-nooleynta uumiga saliidda ee ka imanaya nidaamyada bamgareynta
Xalalka Farsamada:
Hagaajinta hab-raacyada rarista iyo maaraynta heerka qolka nadiifka ah
Isticmaal bartilmaameedyo nadiif ah oo si fiican isugu xiran si aad u yareyso candhuufta iyo dildilaaca
Si joogto ah u dayactir bambooyinka oo rakib dabinada saliidda ama bareegyada qiiqa leh si looga hortago wasakhowga
4. Cilad ku timaadda dildilaaca ama filimka oo aan shaqeynin
Sababaha Caadiga ah:
Cadaadis xad-dhaaf ah oo gudaha ah oo ku jira dahaarka qaro weyn
Isbarbardhigga kulaylka ee u dhexeeya dahaarka iyo substrate-ka
Wareegyo kululeyn/qaboojin degdeg ah oo keena shoog kuleyl
Xalalka Farsamada:
Xakamee dhumucda filimka iyo heerka dhigista si loo yareeyo ururinta cadaadiska
Naqshadee dahaadh lakab badan leh ama darajo leh si loo yareeyo feejignaanta walbahaarka
Hirgeli kor u qaadista heerkulka la xakameeyey inta lagu jiro wareegyada habka
5. Isbeddelka Midabka iyo Iswaafaqla'aanta Indhaha
Sababaha Caadiga ah:
Dhumucda dhumucda ee dahaarka faragelinta indhaha
Socodka gaaska ee aan degganayn inta lagu jiro buufinta falcelinta (O₂, N₂, iwm.)
Isbeddelka korontada ama xasillooni darrada qaansada
Xalalka Farsamada:
Adeegso nidaamyada kormeerka goobta (kormeerayaasha kiristaalka quartz, kormeerka indhaha)
Xasilinta socodka gaaska adoo isticmaalaya kontaroolayaasha socodka tirada (MFCs)
Hubi bixinta korontada oo deggan iyadoo la adeegsanayo xakamaynta arc-ka iyo xakamaynta jawaab celinta
Gunaanad
Tayada dahaarka faakuumka ayaa aad ugu nugul diyaarinta substrate-ka, xuduudaha habka, deegaanka qolka, iyo xasilloonida qalabka. Iyagoo si nidaamsan wax uga qabanaya cilladaha kor ku xusan xalalka ku salaysan injineernimada, soosaarayaashu waxay gaari karaan:
Midnimo filim oo heer sare ah
Ku dhegid xooggan iyo adkeysi
Soo-saarid sare oo ku baahsan dufcadaha wax soo saarka
Ugu dambeyntii, xakamaynta cilladaha adag waxay hubineysaa in alaabada lagu dahaadhay faakiyuumka ay buuxiyaan shuruudaha waxqabadka adag ee warshadaha indhaha, baabuurta, elektaroonigga, iyo caafimaadka.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Sebtembar-20-2025