Равандҳои пӯшонидани вакуумӣ, аз ҷумла ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD), пошидани магнетронӣ ва пӯшонидани ионӣ, дар оптика, автомобилсозӣ, электроника ва дастгоҳҳои тиббӣ васеъ истифода мешаванд. Сарфи назар аз бартариҳои онҳо дар истеҳсоли плёнкаҳои тунуки зич, часпанда ва функсионалӣ, истеҳсолкунандагон аксар вақт бо камбудиҳои такрории пӯшиш рӯбарӯ мешаванд. Ин масъалаҳо мустақиман ба кори плёнка, ҳосилнокии истеҳсолот ва эътимоднокии раванд таъсир мерасонанд.
Дар ин мақола камбудиҳои маъмултарини рӯйпӯш ва чораҳои мувофиқи муҳандисӣ ҷамъбаст шудаанд.
1. Ғафсии ғайримуқаррарии плёнка
Сабабҳои маъмулӣ:
Геометрияи нодурусти ҳадаф ба субстрат
Ҳаракати нокифоя ё нодурусти субстрат (гардиш, ҳаракати сайёраҳо ё интиқоли хаттӣ)
Градиентҳои зичии плазма дар таҳшиншавии масоҳати калон
Роҳҳои ҳалли техникӣ:
Тарроҳии катод/массиви мақсаднокро барои тақсимоти беҳтари кунҷӣ оптимизатсия кунед
Беҳтар кардани васлкунии субстрат ва назорати ҳаракат барои ҷуброни тағйироти маҳаллӣ
Танзими дақиқи фишори корӣ, тақсимоти қувва ва конфигуратсияи майдони магнитӣ
2. Часпиши суст / деламинатсияи плёнка
Сабабҳои маъмулӣ:
Сатҳи олудашудаи субстрат (равғани боқимонда, намӣ ё оксидҳои табиӣ)
Фишори баланди дохилӣ дар қабати гузошташуда
Набудани қабатҳои байниҳамдигарии часпаккунанда
Роҳҳои ҳалли техникӣ:
Тақвият додани коркарди пешакии субстрат: тозакунии ултрасадо, кандакории плазма ё бомбабордкунии ионҳо
Барои кам кардани ҷамъшавии стресс, шиддат ва ҳарорати мадори зеризаминиро танзим кунед
Барои беҳтар кардани часпиши плёнка бо субстрат қабатҳои часпакии миёнаравӣ ба монанди Ti ё Cr-ро ҷорӣ кунед
3. Сӯрохиҳои сӯзанӣ ва олудашавии зарраҳо
Сабабҳои маъмулӣ:
Ифлосшавии зарраҳо дар дохили камераи вакуумӣ
Камоншаклии нишона ё порашавии сатҳ ҳангоми пошидан
Ҷараёни баръакси буғҳои нафт аз системаҳои насосӣ
Роҳҳои ҳалли техникӣ:
Протоколҳои боркунӣ ва коркарди сатҳи тозаро нигоҳ доред
Барои кам кардани туф кардан ва пора шудан аз ҳадафҳои тозагии баланд ва хуб часпонидашуда истифода баред
Барои пешгирии ифлосшавӣ, насосҳоро мунтазам таъмир кунед ва домҳои равған ё монеаҳои криогенӣ насб кунед.
4. Нокомӣ дар фишори плёнка ё кафидан
Сабабҳои маъмулӣ:
Фишори аз ҳад зиёди дохилӣ дар рӯйпӯшҳои ғафс
Номувофиқати васеъшавии гармӣ байни рӯйпӯш ва зеризаминӣ
Давраҳои босуръати гармкунӣ/хунуккунӣ, ки боиси зарбаи гармӣ мешаванд
Роҳҳои ҳалли техникӣ:
Ғафсии плёнка ва суръати ҷойгиршавиро барои кам кардани ҷамъшавии стресс назорат кунед
Тарроҳии рӯйпӯшҳои бисёрқабата ё дараҷабандишуда барои кам кардани консентратсияи стресс
Дар давоми давраҳои раванд, афзоиши ҳарорати назоратшавандаро амалӣ кунед
5. Тағйири ранг ва номувофиқати оптикӣ
Сабабҳои маъмулӣ:
Тағйирёбии ғафсӣ дар рӯйпӯшҳои интерференсионии оптикӣ
Ҷараёни ноустувори гази реактивӣ ҳангоми пошидани реактивӣ (O₂, N₂ ва ғайра)
Ноустувории таъминоти барқ ё ноустувории камон
Роҳҳои ҳалли техникӣ:
Истифодаи системаҳои мониторинги дар ҷои худ (мониторҳои кристаллии кварсӣ, мониторинги оптикӣ)
Устувор кардани ҷараёни газ бо истифода аз контроллерҳои ҷараёни масса (MFC)
Таъмини интиқоли устувори нерӯи барқ бо истифода аз саркӯби камон ва назорати бозгашт
Хулоса
Сифати рӯйпӯши вакуумӣ ба омодасозии субстрат, параметрҳои раванд, муҳити камера ва устувории таҷҳизот хеле ҳассос аст. Бо роҳи ҳалли систематикии камбудиҳои дар боло зикршуда бо роҳҳои ҳалли муҳандисӣ, истеҳсолкунандагон метавонанд ба инҳо ноил шаванд:
Якрангии аълои филм
Часпиши қавӣ ва устуворӣ
Қобилияти такроршавандагии баланд дар тамоми партияҳои истеҳсолӣ
Дар ниҳоят, назорати қатъии нуқсонҳо кафолат медиҳад, ки маҳсулоти бо вакуум пӯшонидашуда ба талаботи қатъии иҷрои саноати оптика, автомобилсозӣ, электроника ва тиб ҷавобгӯ бошанд.
— Ин мақола аз ҷониби нашр шудааст таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣистеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 20 сентябри соли 2025