ويڪيوم ڪوٽنگ ۾ عام خاميون ۽ انهن جا ٽيڪنيڪل حل

ويڪيوم ڪوٽنگ جا عمل - جن ۾ فزيڪل وانپ ڊيپوزيشن (PVD)، ميگنيٽرون اسپٽرنگ، ۽ آئن پليٽنگ شامل آهن - آپٽڪس، آٽوميٽو، اليڪٽرانڪس ۽ طبي ڊوائيسز ۾ وڏي پيماني تي لاڳو ڪيا ويندا آهن. ٿلهي، چپڪندڙ، ۽ ڪم ڪندڙ پتلي فلمن جي پيداوار ۾ انهن جي فائدن جي باوجود، ٺاهيندڙن کي اڪثر ڪري ڪوٽنگ جي خرابين کي منهن ڏيڻو پوي ٿو. اهي مسئلا سڌو سنئون فلم جي ڪارڪردگي، پيداوار جي پيداوار، ۽ عمل جي اعتبار کي متاثر ڪن ٿا.

هي مضمون ڪوٽنگ جي عام خرابين ۽ لاڳاپيل انجنيئرنگ جوابي قدمن جو خلاصو پيش ڪري ٿو.

1. غير يونيفارم فلم جي ٿولهه

عام سبب:

نامناسب ٽارگيٽ-ٽو-سبسٽريٽ جاميٽري

ناکافي يا غلط سبسٽريٽ حرڪت (گردش، گرهن جي حرڪت، يا لڪير واري ٽرانسپورٽ)

وڏي علائقي جي جمع ۾ پلازما کثافت گريڊينٽ

ٽيڪنيڪل حل:

بهتر ڪوئلي ورڇ لاءِ ڪيٿوڊ/ٽارگيٽ ايري ڊيزائن کي بهتر بڻايو.

مقامي تبديلين جي تلافي لاءِ سبسٽريٽ فڪسچرنگ ۽ حرڪت ڪنٽرول کي وڌايو.

ڪم ڪندڙ دٻاءُ، بجلي جي ورڇ، ۽ مقناطيسي ميدان جي ترتيب کي بهتر بڻايو.

2. خراب چپکڻ / فلم ڊيليمينيشن

عام سبب:

آلوده سبسٽريٽ مٿاڇري (بقيد تيل، نمي، يا اصلي آڪسائيڊ)

جمع ٿيل پرت اندر اعليٰ اندروني دٻاءُ

چپکڻ کي فروغ ڏيندڙ انٽرليئرز جي کوٽ

ٽيڪنيڪل حل:

سبسٽريٽ کي مضبوط ڪرڻ کان اڳ علاج: الٽراسونڪ صفائي، پلازما ايچنگ، يا آئن بمباري

دٻاءُ جي جمع کي گھٽ ڪرڻ لاءِ سبسٽريٽ بائس وولٽيج ۽ گرمي پد کي ترتيب ڏيو.

فلم-سبسٽريٽ بانڊنگ کي بهتر بڻائڻ لاءِ وچولي چپکڻ واري پرت جهڙوڪ Ti يا Cr متعارف ڪرايو.

3. پن هولز ۽ ذرات جي آلودگي

عام سبب:

ويڪيوم چيمبر اندر ذرات جي آلودگي

اسپٽرنگ دوران نشانو آرسنگ يا مٿاڇري جو ڦاٽڻ

پمپنگ سسٽم مان تيل جي بخارن جو پوئتي وهڪرو

ٽيڪنيڪل حل:

صاف ڪمري جي سطح تي لوڊشيڊنگ ۽ هينڊلنگ پروٽوڪول برقرار رکو

ٿڪڻ ۽ ڦاٽڻ کي گھٽ ڪرڻ لاءِ اعليٰ پاڪائي، سٺي نموني سان ڳنڍيل هدف استعمال ڪريو.

آلودگي کي روڪڻ لاءِ پمپن جي باقاعدي سروس ڪريو ۽ آئل ٽريپ يا ڪرائيوجينڪ بيفلز لڳايو.

4. ڪريڪنگ يا فلم اسٽريس ناڪامي

عام سبب:

ٿلهي ڪوٽنگن ۾ تمام گهڻو اندروني دٻاءُ

ڪوٽنگ ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ حرارتي توسيع جي بي ترتيبي

تيز گرمي/ٿڌائي جا چڪر جيڪي حرارتي جھٽڪو جو سبب بڻجن ٿا

ٽيڪنيڪل حل:

دٻاءُ جي جمع کي گهٽائڻ لاءِ فلم جي ٿولهه ۽ جمع ٿيڻ جي شرح کي ڪنٽرول ڪريو

دٻاءُ جي ڪنسنٽريشن کي گهٽائڻ لاءِ گھڻ-پرت يا گريڊ ٿيل ڪوٽنگون ٺاهيو.

عمل جي چڪر دوران ڪنٽرول ٿيل گرمي پد جي ريمپنگ لاڳو ڪريو.

5. رنگ جي شفٽ ۽ آپٽيڪل عدم مطابقت

عام سبب:

آپٽيڪل مداخلت ڪوٽنگن ۾ ٿولهه جي انحراف

رد عمل واري ڦڦڙ جي دوران غير مستحڪم رد عمل واري گئس جو وهڪرو (O₂، N₂، وغيره)

بجلي جي فراهمي ۾ اتار چڙهاؤ يا آرڪ عدم استحڪام

ٽيڪنيڪل حل:

ان-سيٽو مانيٽرنگ سسٽم (ڪوارٽز ڪرسٽل مانيٽر، آپٽيڪل مانيٽرنگ) استعمال ڪريو.

ماس فلو ڪنٽرولرز (MFCs) استعمال ڪندي گئس جي وهڪري کي مستحڪم ڪريو.

آرڪ-سپريشن ۽ فيڊ بيڪ ڪنٽرول سان مستحڪم بجلي پهچائڻ کي يقيني بڻايو وڃي.

ٿڪل

ويڪيوم ڪوٽنگ جو معيار سبسٽريٽ جي تياري، عمل جي پيرا ميٽرز، چيمبر جي ماحول، ۽ سامان جي استحڪام لاءِ انتهائي حساس آهي. انجنيئرنگ تي ٻڌل حلن سان مٿين خرابين کي منظم طريقي سان حل ڪندي، ٺاهيندڙ حاصل ڪري سگهن ٿا:

اعليٰ فلم جي هڪجهڙائي

مضبوط چپڪندڙ ۽ استحڪام

پيداوار جي بيچز ۾ اعليٰ پيداواري صلاحيت

آخرڪار، مضبوط خرابي ڪنٽرول يقيني بڻائي ٿو ته ويڪيوم ڪوٽيڊ پراڊڪٽس آپٽڪس، آٽوميٽو، اليڪٽرانڪس، ۽ طبي صنعتن جي سخت ڪارڪردگي گهرجن کي پورو ڪن.

—هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پاران ويڪيوم ڪوٽنگ جو سامانٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم