Tha pròiseasan còmhdach falamh—a’ gabhail a-steach Tasgadh Vapor Corporra (PVD), Sputtering Magnetron, agus Plating Ion—air an cur an sàs gu farsaing ann an optaig, càraichean, eileagtronaig, agus innealan meidigeach. A dh’ aindeoin na buannachdan a th’ aca ann a bhith a’ dèanamh fhilmichean tana dùmhail, greamachail, agus obrachail, bidh luchd-saothrachaidh gu tric a’ fulang le lochdan còmhdach ath-chuairteach. Bidh na cùisean sin a’ toirt buaidh dhìreach air coileanadh fhilmichean, toradh cinneasachaidh, agus earbsachd phròiseasan.
Tha an t-artaigil seo a’ toirt geàrr-chunntas air na lochdan còmhdach as cumanta agus na ceumannan innleadaireachd co-cheangailte riutha.
1. Tiughas Film Neo-èideadh
Adhbharan àbhaisteach:
Geoimeatraidh targaid-gu-substrate neo-iomchaidh
Gluasad neo-iomchaidh no neo-mhearachdach san t-substrate (cuairteachadh, gluasad planaid, no còmhdhail loidhneach)
Claonaidhean dùmhlachd plasma ann an tasgadh sgìre mhòr
Fuasglaidhean Teicnigeach:
Leasaich dealbhadh sreath catod/targaid airson sgaoileadh ceàrnach nas fheàrr
Leasaich suidheachadh an t-substrate agus smachd gluasad gus dèanamh suas airson atharrachaidhean ionadail
Mion-cho-rèiteachadh cuideam obrach, sgaoileadh cumhachd, agus rèiteachadh raon magnetach
2. Droch Ghreamachadh / Delaminachadh Film
Adhbharan àbhaisteach:
Uachdar an t-substrate air a thruailleadh (ola, taiseachd, no ocsaidean dùthchasach a tha air fhàgail)
Cuideam àrd intreach taobh a-staigh an t-sreath tasgaidh
Dìth eadar-fhilleadh a bhrosnaicheas greamachadh
Fuasglaidhean Teicnigeach:
Neartaich ro-làimhseachadh an t-substrate: glanadh ultrasonach, gràbhaladh plasma, no bomadh ian
Atharraich bholtaids is teòthachd claonadh an t-substrate gus cruinneachadh cuideam a lughdachadh
Cuir sreathan greamachaidh eadar-mheadhanach leithid Ti no Cr a-steach gus ceangal film-substrate a leasachadh
3. Tuill-phìoban agus Truailleadh Mìrean
Adhbharan àbhaisteach:
Truailleadh gràineach taobh a-staigh seòmar falamh
Arcadh targaid no sgoltadh uachdar rè sputtering
Sruthadh air ais de cheò ola bho shiostaman pumpaidh
Fuasglaidhean Teicnigeach:
Cùm suas protocolaidhean luchdachadh is làimhseachaidh aig ìre an t-seòmair-ghlan
Cleachd targaidean àrd-ghlanachd, ceangailte gu math gus sgoltadh is rùsgadh a lughdachadh
Dèan seirbheis cunbhalach air pumpaichean agus stàlaich ribe ola no baffles criogenach gus casg a chuir air truailleadh
4. Sgoltadh no fàilligeadh cuideam film
Adhbharan àbhaisteach:
Cus cuideam intreach ann an còtaichean tiugh
Neo-chothromachadh leudachaidh teirmeach eadar còmhdach agus bun-stuth
Cearcallan teasachaidh/fuarachaidh luath ag adhbhrachadh clisgeadh teirmeach
Fuasglaidhean Teicnigeach:
Smachd a chumail air tiughas film agus ìre tasgaidh gus cruinneachadh cuideam a lughdachadh
Dealbhaich còtaichean ioma-fhilleadh no ìreichte gus dùmhlachd cuideam a lughdachadh
Cuir rampaichean teòthachd fo smachd an gnìomh rè chuairtean pròiseas
5. Gluasad Dath agus Neo-chunbhalachd Optaigeach
Adhbharan àbhaisteach:
Claonadh tighead ann an còmhdach eadar-theachd optigeach
Sruthadh gas ath-ghnìomhach neo-sheasmhach rè sputtering ath-ghnìomhach (O₂, N₂, msaa.)
Luathachaidhean solar cumhachd no neo-sheasmhachd arc
Fuasglaidhean Teicnigeach:
Cleachd siostaman sgrùdaidh in-situ (sgrùdairean criostail cuartz, sgrùdadh optigeach)
Sruth gas a dhèanamh seasmhach le bhith a’ cleachdadh riaghladairean sruthadh mais (MFCn)
Dèan cinnteach à lìbhrigeadh cumhachd seasmhach le casg-arc agus smachd air fios-air-ais
Co-dhùnadh
Tha càileachd còmhdach falamh gu math mothachail air ullachadh an t-substrate, paramadairean a’ phròiseis, àrainneachd an t-seòmair, agus seasmhachd uidheamachd. Le bhith a’ dèiligeadh gu siostamach ris na lochdan gu h-àrd le fuasglaidhean stèidhichte air innleadaireachd, faodaidh luchd-saothrachaidh na leanas a choileanadh:
Co-ionannachd film nas fheàrr
Greamachadh làidir agus seasmhachd
Ath-riochdachadh àrd thar bhaidsean cinneasachaidh
Mu dheireadh, bidh smachd làidir air lochdan a’ dèanamh cinnteach gu bheil toraidhean còmhdaichte le falamh a’ coinneachadh ri riatanasan coileanaidh teann ghnìomhachasan optigeach, chàraichean, eileagtronaigeach agus meidigeach.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le uidheam còmhdach falamhneach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 20 Sultain 2025