Hoʻohana nui ʻia nā kaʻina hana uhi vacuum—me ka Physical Vapor Deposition (PVD), Magnetron Sputtering, a me Ion Plating—i nā optics, nā kaʻa, nā mea uila, a me nā mea lapaʻau. ʻOiai ko lākou mau pono i ka hana ʻana i nā ʻili lahilahi paʻa, paʻa, a hana, kū pinepine nā mea hana i nā hemahema uhi hou. Hoʻopilikia pololei kēia mau pilikia i ka hana ʻili, ka hua hana, a me ka hilinaʻi o ke kaʻina hana.
Hōʻuluʻulu kēia ʻatikala i nā hemahema uhi maʻamau a me nā hana kūʻē ʻenekinia e pili ana.
1. Mānoanoa ʻoniʻoni like ʻole
Nā kumu maʻamau:
ʻO ke ʻano hoʻohālikelike kūpono ʻole o ka pahuhopu-a-substrate
ʻAʻole lawa a pololei ʻole paha ka neʻe ʻana o ka substrate (ka wili ʻana, ka neʻe ʻana o ka honua, a i ʻole ka lawe linear)
Nā gradients density plasma ma ka waiho ʻana o kahi nui
Nā Hoʻonā ʻenehana:
E hoʻonui i ka hoʻolālā cathode/target array no ka hoʻolaha angular maikaʻi aʻe
E hoʻonui i ka hoʻopaʻa ʻana o ka substrate a me ka kaohi neʻe e uku no nā loli kūloko
E hoʻoponopono pono i ke kaomi hana, ka hoʻokaʻawale mana, a me ka hoʻonohonoho ʻana o ke kahua magnetic
2. Hoʻopili maikaʻi ʻole / Delamination kiʻiʻoniʻoni
Nā kumu maʻamau:
ʻIli honua haumia (ʻaila koena, makū, a i ʻole nā oxides kūloko)
Ke koʻikoʻi kūloko kiʻekiʻe i loko o ka papa i waiho ʻia
ʻAʻohe o nā papa hana hoʻoulu adhesion
Nā Hoʻonā ʻenehana:
E hoʻoikaika i ka mālama mua ʻana o ka substrate: ka hoʻomaʻemaʻe ultrasonic, ka etching plasma, a i ʻole ka hoʻopōʻino ion
E hoʻoponopono i ke anakahi uila a me ka mahana o ka substrate bias e hōʻemi i ka hōʻiliʻili ʻana o ke kaumaha
E hoʻokomo i nā papa hoʻopili waena e like me Ti a i ʻole Cr e hoʻomaikaʻi i ka hoʻopili ʻana o ka film-substrate
3. Nā puka liʻiliʻi a me ka haumia ʻana o nā ʻāpana
Nā kumu maʻamau:
Ka haumia o nā ʻāpana liʻiliʻi i loko o ke keʻena hakahaka
ʻO ka arcing target a i ʻole ka ʻili ʻana o ka ʻili i ka wā o ka sputtering
Ka hoʻihoʻi ʻana o nā mahu aila mai nā ʻōnaehana pamu
Nā Hoʻonā ʻenehana:
E mālama i nā kaʻina hana hoʻouka a me ka lawelawe ʻana ma ka pae maʻemaʻe
E hoʻohana i nā pahuhopu maʻemaʻe kiʻekiʻe a paʻa pono e hōʻemi i ka kuha ʻana a me ka ʻōpala ʻana
E hoʻoponopono mau i nā pamu a hoʻokomo i nā ʻūpā aila a i ʻole nā baffles cryogenic e pale aku i ka haumia
4. Ka haki ʻana a i ʻole ka hāʻule ʻana o ke kaumaha kiʻiʻoniʻoni
Nā kumu maʻamau:
ʻO ke kaumaha kūloko nui i loko o nā uhi mānoanoa
Ka kūlike ʻole o ka hoʻonui wela ma waena o ka uhi ʻana a me ka substrate
Nā pōʻaiapuni hoʻomehana/hoʻoluʻu wikiwiki e hoʻoulu ai i ka haʻalulu wela
Nā Hoʻonā ʻenehana:
E kāohi i ka mānoanoa o ka ʻili a me ka wikiwiki o ka waiho ʻana e hōʻemi i ka hōʻiliʻili ʻana o ke kaumaha
E hoʻolālā i nā uhi multilayer a i ʻole nā uhi i hoʻopaʻa ʻia e hōʻemi i ka nui o ke kaumaha
E hoʻokō i ka piʻi ʻana o ka mahana i kāohi ʻia i ka wā o ke kaʻina hana
5. Ka Hoʻololi ʻana o ke Kala a me ke Kūlike ʻole o ka Optical
Nā kumu maʻamau:
ʻO ka ʻokoʻa mānoanoa i nā uhi hoʻopilikia optical
Ke kahe kinoea reactive paʻa ʻole i ka wā o ka reactive sputtering (O₂, N₂, a pēlā aku)
Nā loli o ka lako mana a i ʻole ka paʻa ʻole o ke arc
Nā Hoʻonā ʻenehana:
E hoʻohana i nā ʻōnaehana nānā in-situ (nā monitor kristal quartz, ka nānā ʻana i ka optical)
E hoʻopaʻa i ke kahe kinoea me ka hoʻohana ʻana i nā mea hoʻokele kahe nui (MFC)
E hōʻoia i ka hoʻouna ʻana o ka mana paʻa me ka hoʻopau ʻana i ke arc a me ka kaohi manaʻo
Hopena
He koʻikoʻi loa ka maikaʻi o ka uhi ʻana i ka vacuum i ka hoʻomākaukau ʻana o ka substrate, nā palena hana, ke kaiapuni o ke keʻena, a me ke kūpaʻa o nā lako. Ma ka hoʻoponopono ʻana i nā hemahema i luna me nā hoʻonā e pili ana i ka ʻenekinia, hiki i nā mea hana ke hoʻokō:
ʻOi aku ka like ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni
Hoʻopili ikaika a me ke kūpaʻa
Ka hana hou ʻana ma nā ʻāpana hana
ʻO ka mea hope loa, hōʻoia ka kaohi kīnā paʻa e hoʻokō nā huahana i uhi ʻia i ka vacuum i nā koi hana koʻikoʻi o nā ʻoihana optics, automotive, electronics, a me nā ʻoihana lapaʻau.
—Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala e nā lako hana uhi vacuummea hana Zhenhua Vacuum
Ka manawa hoʻouna: Sep-20-2025