O faiga o le ufiufiina o le vacuum—e aofia ai le Physical Vapor Deposition (PVD), Magnetron Sputtering, ma le Ion Plating—e fa'aaogaina lautele i mea tau optics, ta'avale, mea eletise, ma masini fa'afoma'i. E ui lava i o latou lelei i le gaosia o ata manifinifi mafiafia, pipii, ma aoga, e masani ona feagai le au gaosi oloa ma ni fa'aletonu faifai pea o le ufiufi. O nei fa'afitauli e a'afia sa'o ai le fa'atinoga o ata, le fua o le gaosiga, ma le fa'atuatuaina o le faiga.
O lenei tusiga o loʻo aoteleina ai faʻaletonu e sili ona taatele o ufiufi ma auala faʻainisinia e tali atu ai.
1. Mafiafia o Ata Tifaga e le Tutusa
Mafua'aga Masani:
Fa'asologa le talafeagai o le fa'atatauga i le fa'atulagaina
Le lava pe le sa'o le gaioiga o le substrate (fa'ata'amilosaga, gaioiga o paneta, po'o felauaiga laina)
Fa'asologa o le mafiafia o le plasma i le teuina o se vaega tele
Fofo Fa'atekinolosi:
Fa'aleleia le mamanu o le cathode/target array mo se tufatufaina sili atu o le angular
Fa'aleleia le fa'apipi'iina o le substrate ma le pulea o gaioiga e fa'afetaui ai suiga i le lotoifale
Fa'aleleia le mamafa o le galuega, tufatufaina atu o le eletise, ma le fa'atulagaga o le fanua maneta
2. Le lelei o le pipii / le aveeseina o ata tifaga
Mafua'aga Masani:
O le fogāeleele ua pisia (suāuu toega, susu, po'o oxides masani)
Maualuga le mamafa i totonu o le vaega ua teuina
Le lava o ni vaega e fa'aleleia ai le pipii
Fofo Fa'atekinolosi:
Fa'amalosi le togafitiga muamua o le substrate: fa'amamāina o le ultrasonic, etching plasma, po'o le fa'apāpāina o le ion
Fetuuna'i le voltage ma le vevela o le substrate bias e fa'aitiitia ai le fa'aputuina o le atuatuvale
Fa'aofi ni vaega fa'apipi'i vaeluagalemu e pei o le Ti po'o le Cr e fa'aleleia atili ai le pipi'i o le ata tifaga ma le substrate
3. Pu'u ma le Fa'aleagaina o Mea'ai
Mafua'aga Masani:
Fa'aleagaina o mea fa'apena i totonu o le potu e fa'amama ai le ea
Fa'asolo o le fa'atatauga po'o le malepelepe o le fogaeleele i le taimi o le sputtering
Toe tafe atu o ausa suāuu mai faiga pamu
Fofo Fa'atekinolosi:
Tausia tulafono fa'atonutonu mo le utaina ma le taulimaina o le tulaga mama o potu
Faaaoga ni mea e mama ma pipii lelei e fa'aitiitia ai le feanu ma le mageso
Fa'aleleia pea pamu ma fa'apipi'i ni mailei suau'u po'o ni fa'amau e fa'amama ai le ea e puipuia ai le fa'aleagaina.
4. Ta'e po'o le Fa'aletonu o le Ata Tifaga
Mafua'aga Masani:
Soona tele o le atuatuvale i totonu o ufiufi mafiafia
Le feteenai o le fa'alauteleina o le vevela i le va o le ufiufi ma le substrate
O le vave o le fa'avevela/fa'amālūlūina e mafua ai le te'i fa'avevela
Fofo Fa'atekinolosi:
Pulea le mafiafia o le ata tifaga ma le fua faatatau o le teuina e faʻaitiitia ai le faʻaputuina o le atuatuvale
Fuafua ni ufiufi e tele vaega po'o ni ufiufi fa'avasega e fa'aitiitia ai le mamafa o le mamafa
Fa'atino le fa'ateleina o le vevela i taimi o fa'agasologa o galuega
5. Suiga o Lanu ma le Feteena'iga o le Va'aiga Fa'apitoa
Mafua'aga Masani:
Fa'aesea o le mafiafia i ufiufi fa'alavelave fa'apitoa
Le tafe mautu o le kasa tali vave i le taimi o le reactive sputtering (O₂, N₂, ma isi)
Fesuia'iga o le sapalai o le eletise po'o le le mautu o le arc
Fofo Fa'atekinolosi:
Fa'aaoga ni faiga e mata'ituina ai mea i totonu o le nofoaga (quartz crystal monitoring, optical monitoring)
Fa'amautu le tafe o le kesi e fa'aaoga ai masini e pulea ai le tafe o le kesi (MFCs)
Ia mautinoa le mautu o le tu'uina atu o le eletise fa'atasi ai ma le taofiofia o le arc ma le pulea o le feedback
Faaiuga
E matuā maaleale lava le lelei o le ufiufi o le vacuum i le sauniuniga o le substrate, faʻasologa o le faagasologa, siosiomaga o le potu, ma le mautu o masini. E ala i le faʻaleleia faʻasolosolo o mea sese o loʻo taʻua i luga i fofo faʻainisinia, e mafai e le au gaosi oloa ona ausia:
Tulaga tutusa lelei o ata tifaga
Pipii malosi ma le tumau
Maualuga le toe gaosia i vaega gaosiga uma
I le iuga, o le puleaina malosi o mea sese e faʻamautinoa ai o oloa e ufi i le vacuum cleaner e ausia manaoga faigata o le faatinoga o mea faitino, taavale, mea eletise, ma alamanuia faafomai.
—O lenei tusiga na lomia e meafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Setema-20-2025