Вакуумдық жабу процестері, соның ішінде физикалық буды тұндыру (ФБШ), магнетронды шашырату және иондық қаптау оптика, автомобиль, электроника және медициналық құрылғыларда кеңінен қолданылады. Тығыз, жабысқақ және функционалды жұқа қабықшалар өндірудегі артықшылықтарына қарамастан, өндірушілер жиі қайталанатын жабу ақауларына тап болады. Бұл мәселелер қабықшаның өнімділігіне, өндіріс өнімділігіне және процестің сенімділігіне тікелей әсер етеді.
Бұл мақалада ең көп таралған жабын ақаулары және тиісті инженерлік қарсы шаралар сипатталған.
1. Біркелкі емес пленка қалыңдығы
Типтік себептер:
Нысаннан субстратқа дейінгі геометрияның дұрыс еместігі
Субстрат қозғалысының жеткіліксіз немесе дәл еместігі (айналу, планеталық қозғалыс немесе сызықтық тасымалдау)
Үлкен аумақтағы шөгінділердегі плазма тығыздығының градиенттері
Техникалық шешімдер:
Бұрыштық таралуды жақсарту үшін катод/нысаналы массив дизайнын оңтайландырыңыз
Жергілікті ауытқуларды өтеу үшін субстрат бекіткішін және қозғалысты басқаруды жақсартыңыз
Жұмыс қысымын, қуатты бөлуді және магнит өрісінің конфигурациясын дәл баптау
2. Нашар адгезия / пленканың қабатталуы
Типтік себептер:
Ластанған субстрат беті (қалдық май, ылғал немесе табиғи оксидтер)
Шөгінді қабаттағы жоғары ішкі кернеу
Жабысуды күшейтетін аралық қабаттардың болмауы
Техникалық шешімдер:
Субстратты алдын ала өңдеуді күшейту: ультрадыбыстық тазалау, плазмалық өңдеу немесе иондық бомбалау
Кернеудің жиналуын азайту үшін субстраттың ығысу кернеуі мен температурасын реттеңіз
Пленка-субстрат байланысын жақсарту үшін Ti немесе Cr сияқты аралық адгезия қабаттарын енгізіңіз
3. Түйіршіктер және бөлшектердің ластануы
Типтік себептер:
Вакуумдық камераның ішіндегі бөлшектердің ластануы
Шашырату кезінде нысананың доға тәрізді болуы немесе бетінің қабыршақтануы
Сорғы жүйелерінен мұнай буларының кері ағымы
Техникалық шешімдер:
Таза бөлме деңгейіндегі тиеу және өңдеу хаттамаларын сақтаңыз
Түкіру мен қабыршақтануды азайту үшін жоғары тазалықтағы, жақсы байланысқан нысаналарды пайдаланыңыз
Ластанудың алдын алу үшін сорғыларға үнемі қызмет көрсетіп, май тұзақтарын немесе криогендік бөгеттерді орнатыңыз
4. Жарылу немесе пленка кернеуінің бұзылуы
Типтік себептер:
Қалың жабындардағы шамадан тыс ішкі кернеу
Жабын мен негіз арасындағы жылу кеңеюінің сәйкессіздігі
Жылулық соққыны тудыратын жылдам қыздыру/салқындату циклдары
Техникалық шешімдер:
Стресстің жиналуын азайту үшін пленканың қалыңдығын және тұндыру жылдамдығын бақылаңыз
Кернеу концентрациясын азайту үшін көп қабатты немесе тегістелген жабындарды жобалаңыз
Процесс циклдері кезінде бақыланатын температураны көтеруді енгізіңіз
5. Түстің өзгеруі және оптикалық сәйкессіздік
Типтік себептер:
Оптикалық интерференциялық жабындардағы қалыңдықтың ауытқуы
Реактивті тозаңдату кезіндегі тұрақсыз реактивті газ ағыны (O₂, N₂ және т.б.)
Қуат көзінің ауытқуы немесе доға тұрақсыздығы
Техникалық шешімдер:
Жергілікті мониторинг жүйелерін (кварц кристалды мониторлар, оптикалық мониторинг) қолданыңыз
Масса ағынын реттегіштерді (MFC) пайдаланып газ ағынын тұрақтандыру
Доғаны басу және кері байланысты басқару арқылы тұрақты қуат беруді қамтамасыз етіңіз
Қорытынды
Вакуумдық жабын сапасы негізді дайындауға, процесс параметрлеріне, камера ортасына және жабдықтың тұрақтылығына өте сезімтал. Жоғарыда аталған ақауларды инженерлік шешімдермен жүйелі түрде шешу арқылы өндірушілер мыналарға қол жеткізе алады:
Фильмнің біркелкілігінің жоғары деңгейі
Мықты адгезия және беріктік
Өндіріс партиялары бойынша жоғары қайталанымдылық
Түптеп келгенде, ақауларды сенімді бақылау вакууммен қапталған өнімдердің оптика, автомобиль, электроника және медициналық салалардың қатаң өнімділік талаптарына сәйкес келуін қамтамасыз етеді.
— Бұл мақаланы жариялаған вакуумдық жабын жабдықтарыөндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 20 қыркүйек 2025 ж.