இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD), காந்தத் தெறிப்பு மற்றும் அயனி முலாம் பூசுதல் உள்ளிட்ட வெற்றிடப் பூச்சு செயல்முறைகள், ஒளியியல், தானியங்கி, மின்னணுவியல் மற்றும் மருத்துவ சாதனங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அடர்த்தியான, ஒட்டும் தன்மையுள்ள மற்றும் செயல்பாட்டுத் திறன் கொண்ட மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குவதில் இவற்றின் நன்மைகள் இருந்தபோதிலும், உற்பத்தியாளர்கள் அடிக்கடி மீண்டும் மீண்டும் ஏற்படும் பூச்சுக் குறைபாடுகளை எதிர்கொள்கின்றனர். இந்தப் பிரச்சினைகள் படலத்தின் செயல்திறன், உற்பத்தி விளைச்சல் மற்றும் செயல்முறையின் நம்பகத்தன்மை ஆகியவற்றை நேரடியாகப் பாதிக்கின்றன.
இக்கட்டுரை, மிகவும் பொதுவான பூச்சுக் குறைபாடுகளையும் அவற்றுக்கான பொறியியல் தீர்வு நடவடிக்கைகளையும் தொகுத்துரைக்கிறது.
1. சீரற்ற படலத் தடிமன்
பொதுவான காரணங்கள்:
முறையற்ற இலக்கு-அடிதள வடிவியல்
போதுமான அல்லது துல்லியமற்ற அடித்தள இயக்கம் (சுழற்சி, கோள் இயக்கம் அல்லது நேரியல் நகர்வு)
பெரிய பரப்பளவு படிவுகளில் பிளாஸ்மா அடர்த்தி சாய்வுகள்
தொழில்நுட்பத் தீர்வுகள்:
சிறந்த கோணப் பரவலுக்காக எதிர்மின்வாய்/இலக்கு வரிசை வடிவமைப்பை உகந்ததாக்குங்கள்
உள்ளூர் மாறுபாடுகளை ஈடுசெய்ய, அடித்தளப் பொருத்துதலையும் இயக்கக் கட்டுப்பாட்டையும் மேம்படுத்தவும்.
செயல்பாட்டு அழுத்தம், சக்திப் பகிர்வு மற்றும் காந்தப்புல உள்ளமைவு ஆகியவற்றை நுட்பமாகச் சரிசெய்யவும்.
2. மோசமான ஒட்டுதல் / படலம் பிரிதல்
பொதுவான காரணங்கள்:
மாசுபட்ட அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பு (எஞ்சிய எண்ணெய், ஈரப்பதம் அல்லது இயற்கையான ஆக்சைடுகள்)
படியவைக்கப்பட்ட அடுக்கிற்குள் அதிக உள்ளார்ந்த அழுத்தம்
ஒட்டுதலை ஊக்குவிக்கும் இடை அடுக்குகளின் பற்றாக்குறை
தொழில்நுட்பத் தீர்வுகள்:
அடி மூலக்கூறு முன் சிகிச்சையை வலுப்படுத்துங்கள்: மீயொலி சுத்தம் செய்தல், பிளாஸ்மா அரித்தல் அல்லது அயனித் தாக்குதல்.
அழுத்தக் குவிப்பைக் குறைக்க, அடி மூலக்கூறு சார்பு மின்னழுத்தத்தையும் வெப்பநிலையையும் சரிசெய்யவும்.
படலம்-அடிப்படைப் பிணைப்பை மேம்படுத்த, Ti அல்லது Cr போன்ற இடைநிலை ஒட்டுதல் அடுக்குகளை அறிமுகப்படுத்துங்கள்.
3. ஊசித் துளைகள் மற்றும் துகள் மாசுபாடு
பொதுவான காரணங்கள்:
வெற்றிட அறைக்குள் துகள் மாசுபாடு
ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டின் போது இலக்கு மின்வில் உருவாதல் அல்லது மேற்பரப்பு செதிலாதல்
பம்பிங் அமைப்புகளிலிருந்து எண்ணெய் ஆவிகள் பின்னோக்கிப் பாய்தல்
தொழில்நுட்பத் தீர்வுகள்:
தூய்மை அறை அளவிலான ஏற்றுதல் மற்றும் கையாளுதல் நெறிமுறைகளைப் பராமரிக்கவும்.
தெறித்தல் மற்றும் உதிர்தலைக் குறைக்க, உயர் தூய்மையுள்ள, நன்கு பிணைக்கப்பட்ட இலக்குகளைப் பயன்படுத்துங்கள்.
பம்புகளைத் தவறாமல் பராமரித்து, மாசுபடுவதைத் தடுக்க எண்ணெய் வடிகட்டிகள் அல்லது கிரையோஜெனிக் தடுப்பான்களை நிறுவவும்.
4. விரிசல் அல்லது படல அழுத்தச் சிதைவு
பொதுவான காரணங்கள்:
தடிமனான பூச்சுகளில் அதிகப்படியான உள்ளார்ந்த அழுத்தம்
பூச்சுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான வெப்ப விரிவாக்கப் பொருத்தமின்மை
விரைவான வெப்பமாக்கல்/குளிரூட்டல் சுழற்சிகளால் ஏற்படும் வெப்ப அதிர்ச்சி.
தொழில்நுட்பத் தீர்வுகள்:
அழுத்தக் குவிப்பைக் குறைக்க, படலத்தின் தடிமனையும் படிவு வீதத்தையும் கட்டுப்படுத்தவும்.
அழுத்தக் குவிப்பைக் குறைக்க பல அடுக்கு அல்லது படிநிலை பூச்சுகளை வடிவமைக்கவும்.
செயல்முறை சுழற்சிகளின் போது கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பநிலை உயர்வைச் செயல்படுத்தவும்
5. நிற மாற்றம் மற்றும் ஒளியியல் முரண்பாடு
பொதுவான காரணங்கள்:
ஒளி குறுக்கீட்டுப் பூச்சுகளில் தடிமன் விலகல்
வினைத்திறன் சிதறலின் போது ஏற்படும் நிலையற்ற வினைத்திறன் வாயு ஓட்டம் (O₂, N₂, முதலியன)
மின் விநியோக ஏற்ற இறக்கங்கள் அல்லது வில்லின் நிலையற்ற தன்மை
தொழில்நுட்பத் தீர்வுகள்:
களத்திலேயே கண்காணிக்கும் அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துங்கள் (குவார்ட்ஸ் படிகக் கண்காணிப்பிகள், ஒளியியல் கண்காணிப்பு).
நிறை ஓட்டக் கட்டுப்படுத்திகளை (MFCs) பயன்படுத்தி வாயு ஓட்டத்தை நிலைப்படுத்துங்கள்.
மின்வில் அணைப்பு மற்றும் பின்னூட்டக் கட்டுப்பாடு மூலம் நிலையான மின் விநியோகத்தை உறுதிசெய்யுங்கள்.
முடிவு
வெற்றிடப் பூச்சின் தரம், அடி மூலக்கூறு தயாரிப்பு, செயல்முறை அளவுருக்கள், அறைச் சூழல் மற்றும் உபகரண நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைப் பெரிதும் சார்ந்துள்ளது. பொறியியல் அடிப்படையிலான தீர்வுகளுடன் மேற்கண்ட குறைபாடுகளை முறையாகக் கையாள்வதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் பின்வருவனவற்றை அடைய முடியும்:
உயர்ந்த பட சீரான தன்மை
வலுவான ஒட்டுதல் மற்றும் நீடித்துழைக்கும் தன்மை
உற்பத்தித் தொகுதிகள் முழுவதும் உயர் மறுஉற்பத்தித்திறன்
இறுதியாக, வலுவான குறைபாட்டுக் கட்டுப்பாடு, வெற்றிடப் பூச்சு செய்யப்பட்ட தயாரிப்புகள் ஒளியியல், தானியங்கி, மின்னணுவியல் மற்றும் மருத்துவத் தொழில்களின் கடுமையான செயல்திறன் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது.
—இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டது வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள்உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்
பதிவிட்ட நேரம்: செப்-20-2025