Usoro mkpuchi vacuum—gụnyere Physical Vapor Deposition (PVD), Magnetron Sputtering, na Ion Plating—a na-ejikarị eme ihe n'ihe gbasara optics, ụgbọala, eletrọniki, na ngwaọrụ ahụike. N'agbanyeghị uru ha nwere n'imepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị, nke na-arapara, na nke na-arụ ọrụ, ndị na-emepụta ihe na-enwekarị nsogbu mkpuchi ugboro ugboro. Nsogbu ndị a na-emetụta arụmọrụ ihe nkiri, mmepụta mmepụta, na ntụkwasị obi usoro.
Isiokwu a na-achịkọta ntụpọ mkpuchi kachasị na ihe mgbochi injinia kwekọrọ.
1. Ọkpụrụkpụ ihe nkiri na-abụghị otu
Ihe Ndị Na-akpata Ya:
Jiometi ihe mgbaru ọsọ na-ekwesịghị ekwesị
Mmegharị ihe ndị na-adịghị mma ma ọ bụ nke na-ezighi ezi (mgbanwe, mmegharị ụwa, ma ọ bụ njem kwụ ọtọ)
Ngụkọta njupụta plasma na ebe a na-etinye ihe n'ime nnukwu mpaghara
Ngwọta Nka na ụzụ:
Mee ka nhazi usoro kathode/target dịkwuo mma maka nkesa akụkụ ka mma
Melite ihe ndozi ihe na njikwa mmegharị iji kwụọ ụgwọ maka mgbanwe mpaghara
Gbanwee nrụgide ọrụ nke ọma, nkesa ike, na nhazi ubi magnetik
2. Nrapara na-adịghị mma / Nkwụsị ihe nkiri
Ihe Ndị Na-akpata Ya:
Elu ihe ruru unyi (mmanụ fọdụrụ, mmiri mmiri, ma ọ bụ oxides nke e ji ihe ndị dị ndụ mee)
Nrụgide dị elu n'ime oyi akwa echekwara
Enweghị ihe ndị na-eme ka njikọta dị n'etiti ihe ndị na-akwalite ịrapara
Ngwọta Nka na ụzụ:
Mee ka ihe ndị dị n'okpuru ala sie ike tupu ọgwụgwọ: nhicha ultrasonic, nhazi plasma, ma ọ bụ bọmbụ ion
Gbanwee voltaji na okpomọkụ nke substrate iji belata mkpokọta nrụgide
Webata akwa njikọta dị n'etiti dịka Ti ma ọ bụ Cr iji melite njikọ dị n'etiti ihe nkiri na ihe ndị ọzọ
3. Oghere na Mmetọ nke ihe ndị dị n'ime ya
Ihe Ndị Na-akpata Ya:
Mmetọ dị n'ime ụlọ ikuku
Ntugharị ma ọ bụ mgbawa elu n'oge a na-agba mmiri
Ndaghachi azụ nke uzuoku mmanụ sitere na sistemụ mgbapụta
Ngwọta Nka na ụzụ:
Debe usoro ibu na njikwa ọkwa ụlọ dị ọcha
Jiri ihe ndị dị ọcha nke ọma, nke jikọtara nke ọma iji belata ịgbụpụ mmiri na ịgbaji
Na-arụzi ọkpọkọ mmiri mgbe niile ma na-etinye ihe ndị na-egbochi mmetọ ma ọ bụ ihe mkpuchi mmanụ iji gbochie mmetọ
4. Mkpọwa ma ọ bụ Nrụgide Ihe Nkiri
Ihe Ndị Na-akpata Ya:
Nrụgide dị oke njọ n'ime mkpuchi dị oke njọ
Enweghị ike ịgbasa okpomọkụ n'etiti mkpuchi na substrate
Okpomọkụ/oyi ngwa ngwa na-akpata oke okpomọkụ
Ngwọta Nka na ụzụ:
Jikwaa ọkpụrụkpụ ihe nkiri na ọnụego itinye ihe iji belata mkpokọta nrụgide
Mepụta mkpuchi dị iche iche ma ọ bụ nke nwere ọkwa dị elu iji belata nrụgide
Mee mmụba okpomọkụ a na-achịkwa n'oge usoro usoro
5. Mgbanwe Agba na Enweghị Nkwekọ Anya
Ihe Ndị Na-akpata Ya:
Ngbanwe ọkpụrụkpụ na mkpuchi nnyonye anya
Mmiri gas na-anaghị akwụsi ike n'oge a na-eme ka mmiri na-agbagharị (O₂, N₂, wdg)
Mgbanwe ọkọnọ ike ma ọ bụ enweghị ntụkwasị obi n'akụkụ ọkụ eletrik
Ngwọta Nka na ụzụ:
Jiri sistemụ nlekota n'ime ebe (ihe nlele kristal quartz, nlekota anya)
Mee ka usoro gas kwụsie ike site na iji ndị na-achịkwa usoro mmiri oke (MFCs)
Hụ na nnyefe ike kwụsiri ike site na iji njikwa arc-suppression na nzaghachi
Mmechi
Ọkwa mkpuchi uzuoku na-enwe mmetụta dị ukwuu na nkwadebe ihe ndị dị n'elu, paramita usoro, gburugburu ụlọ, na nkwụsi ike nke akụrụngwa. Site n'iji usoro injinia dozie ntụpọ ndị a dị n'elu nke ọma, ndị nrụpụta nwere ike imezu:
Nha nhata nke ihe nkiri dị elu
Nrapado siri ike na ogologo oge
Mmepụta dị elu n'ofe mmepụta ihe
N'ikpeazụ, njikwa ntụpọ siri ike na-eme ka ngwaahịa ndị a kpuchiri n'ime oghere na-emezu ihe achọrọ siri ike nke ngwa anya, ụgbọ ala, ngwa eletrọnịkị, na ụlọ ọrụ ahụike.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Sep-20-2025