ຂໍ້ບົກຜ່ອງທົ່ວໄປໃນການເຄືອບສູນຍາກາດ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂດ້ານວິຊາການຂອງມັນ

ຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ — ລວມທັງການລະລາຍໄອທາງກາຍະພາບ (PVD), ການສະເປຣດເຕີຣິງແມກເນຕຣອນ, ແລະ ການຊຸບໄອອອນ — ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນດ້ານທັດສະນະ, ຍານຍົນ, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ ອຸປະກອນການແພດ. ເຖິງວ່າຈະມີຂໍ້ໄດ້ປຽບໃນການຜະລິດຟິມບາງໆທີ່ໜາແໜ້ນ, ຕິດແໜ້ນ, ແລະ ໃຊ້ງານໄດ້ດີ, ຜູ້ຜະລິດມັກຈະປະເຊີນກັບຂໍ້ບົກຜ່ອງດ້ານການເຄືອບທີ່ເກີດຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ບັນຫາເຫຼົ່ານີ້ສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງຟິມ, ຜົນຜະລິດ, ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການ.

ບົດຄວາມນີ້ສະຫຼຸບຂໍ້ບົກຜ່ອງທີ່ພົບເລື້ອຍທີ່ສຸດກ່ຽວກັບການເຄືອບ ແລະ ມາດຕະການແກ້ໄຂທາງວິສະວະກຳທີ່ສອດຄ້ອງກັນ.

1. ຄວາມໜາຂອງຟິມທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ

ສາເຫດທົ່ວໄປ:

ຮູບຊົງເລຂາຄະນິດລະຫວ່າງເປົ້າໝາຍກັບຊັ້ນວາງທີ່ບໍ່ເໝາະສົມ

ການເຄື່ອນທີ່ຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນບໍ່ພຽງພໍ ຫຼື ບໍ່ຖືກຕ້ອງ (ການໝູນ, ການເຄື່ອນທີ່ຂອງດາວເຄາະ, ຫຼື ການຂົນສົ່ງແບບເສັ້ນຊື່)

ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາແໜ້ນຂອງພລາສມາໃນການວາງຊັ້ນພື້ນທີ່ຂະໜາດໃຫຍ່

ວິທີແກ້ໄຂດ້ານເຕັກນິກ:

ເພີ່ມປະສິດທິພາບການອອກແບບອາເຣແຄໂທດ/ເປົ້າໝາຍເພື່ອການແຈກຢາຍມຸມທີ່ດີກວ່າ

ເສີມຂະຫຍາຍການຍຶດຕິດຂອງຊັ້ນວາງ ແລະ ການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວເພື່ອຊົດເຊີຍການປ່ຽນແປງໃນທ້ອງຖິ່ນ

ປັບແຕ່ງຄວາມດັນໃນການເຮັດວຽກ, ການແຈກຢາຍພະລັງງານ ແລະ ການຕັ້ງຄ່າສະໜາມແມ່ເຫຼັກໃຫ້ລະອຽດ

2. ການຍຶດຕິດບໍ່ດີ / ການລະລາຍຂອງຟິມ

ສາເຫດທົ່ວໄປ:

ໜ້າດິນຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ປົນເປື້ອນ (ນ້ຳມັນທີ່ເຫຼືອ, ຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ຫຼື ອົກໄຊດ໌ພື້ນເມືອງ)

ຄວາມກົດດັນພາຍໃນສູງພາຍໃນຊັ້ນທີ່ຝາກໄວ້

ການຂາດຊັ້ນລະຫວ່າງຊັ້ນທີ່ສົ່ງເສີມການຍຶດຕິດ

ວິທີແກ້ໄຂດ້ານເຕັກນິກ:

ເສີມສ້າງການປຸງແຕ່ງຊັ້ນຮອງພື້ນກ່ອນ: ການທຳຄວາມສະອາດດ້ວຍຄື້ນສຽງ, ການແກະສະຫຼັກພລາສມາ, ຫຼື ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍໄອອອນ

ປັບແຮງດັນໄຟຟ້າ ແລະ ອຸນຫະພູມຂອງ substrate bias ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມຂອງຄວາມກົດດັນ

ນຳໃຊ້ຊັ້ນຍຶດຕິດລະດັບກາງເຊັ່ນ Ti ຫຼື Cr ເພື່ອປັບປຸງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຟິມກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນ

3. ຮູເຂັມ ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ

ສາເຫດທົ່ວໄປ:

ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ

ການໂຄ້ງຂອງເປົ້າໝາຍ ຫຼື ການແຕກຂອງພື້ນຜິວໃນລະຫວ່າງການສີດນ້ຳ

ການໄຫຼກັບຄືນຂອງອາຍນ້ຳມັນຈາກລະບົບສູບນ້ຳ

ວິທີແກ້ໄຂດ້ານເຕັກນິກ:

ຮັກສາໂປໂຕຄອນການໂຫຼດ ແລະ ການຈັດການໃນລະດັບຫ້ອງສະອາດ

ໃຊ້ເປົ້າໝາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ຍຶດຕິດກັນໄດ້ດີ ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຖົ່ມນໍ້າລາຍ ແລະ ການລອກອອກ.

ບໍລິການປ້ຳເປັນປະຈຳ ແລະ ຕິດຕັ້ງດັກນ້ຳມັນ ຫຼື ແຖບກັ້ນອຸນຫະພູມເຢັນເພື່ອປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ

4. ການແຕກ ຫຼື ຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຄວາມກົດດັນຂອງຟິມ

ສາເຫດທົ່ວໄປ:

ຄວາມກົດດັນພາຍໃນຫຼາຍເກີນໄປໃນຊັ້ນເຄືອບໜາ

ຄວາມບໍ່ກົງກັນຂອງການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງການເຄືອບ ແລະ ຊັ້ນຮອງພື້ນ

ຮອບວຽນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ/ຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາເຮັດໃຫ້ເກີດອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ

ວິທີແກ້ໄຂດ້ານເຕັກນິກ:

ຄວບຄຸມຄວາມໜາຂອງຟິມ ແລະ ອັດຕາການຕົກຕະກອນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສະສົມຄວາມຄຽດ

ອອກແບບການເຄືອບຫຼາຍຊັ້ນ ຫຼື ຊັ້ນເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງຄວາມກົດດັນ

ປະຕິບັດການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຂະບວນການ

5. ການປ່ຽນສີ ແລະ ຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງທາງດ້ານແສງ

ສາເຫດທົ່ວໄປ:

ຄວາມໜາຂອງຕົວແປໃນການເຄືອບການແຊກແຊງທາງແສງ

ກະແສອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາບໍ່ໝັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການສີດພົ່ນປະຕິກິລິຍາ (O₂, N₂, ແລະອື່ນໆ)

ຄວາມຜັນຜວນຂອງແຫຼ່ງພະລັງງານ ຫຼື ຄວາມບໍ່ໝັ້ນຄົງຂອງກະແສໄຟຟ້າ

ວິທີແກ້ໄຂດ້ານເຕັກນິກ:

ນຳໃຊ້ລະບົບຕິດຕາມກວດກາໃນສະຖານທີ່ (ຈໍມໍນິເຕີຄວດສ໌, ການຕິດຕາມດ້ວຍແສງ)

ເຮັດໃຫ້ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສມີຄວາມໝັ້ນຄົງໂດຍໃຊ້ຕົວຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງມວນສານ (MFCs)

ຮັບປະກັນການສົ່ງພະລັງງານທີ່ໝັ້ນຄົງດ້ວຍການຄວບຄຸມການສະກັດກັ້ນກະແສໄຟຟ້າ ແລະ ການຄວບຄຸມການປ້ອນກັບຄືນ

ສະຫຼຸບ

ຄຸນນະພາບການເຄືອບສູນຍາກາດມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງຕໍ່ການກະກຽມຊັ້ນຮອງພື້ນ, ຕົວກໍານົດການຂະບວນການ, ສະພາບແວດລ້ອມຂອງຫ້ອງ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນ. ໂດຍການແກ້ໄຂບັນຫາຂໍ້ບົກຜ່ອງຂ້າງເທິງຢ່າງເປັນລະບົບດ້ວຍວິທີແກ້ໄຂທີ່ອີງໃສ່ວິສະວະກຳ, ຜູ້ຜະລິດສາມາດບັນລຸ:

ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຟິມທີ່ດີເລີດ

ການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງ ແລະ ທົນທານ

ຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດຊ້ຳໄດ້ສູງໃນທົ່ວກຸ່ມການຜະລິດ

ໃນທີ່ສຸດ, ການຄວບຄຸມຂໍ້ບົກພ່ອງທີ່ເຂັ້ມແຂງຮັບປະກັນວ່າຜະລິດຕະພັນເຄືອບສູນຍາກາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານປະສິດທິພາບທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງອຸດສາຫະກຳດ້ານທັດສະນະ, ຍານຍົນ, ເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ການແພດ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua