Njira zophikira vacuum—kuphatikizapo Physical Npor Deposition (PVD), Magnetron Sputtering, ndi Ion Plating—zimagwiritsidwa ntchito kwambiri mu optics, magalimoto, zamagetsi, ndi zipangizo zachipatala. Ngakhale kuti zili ndi ubwino popanga mafilimu okhuthala, omata, komanso ogwira ntchito, opanga nthawi zambiri amakumana ndi zolakwika zophikira mobwerezabwereza. Mavutowa amakhudza mwachindunji magwiridwe antchito a filimu, kupanga bwino, komanso kudalirika kwa njira.
Nkhaniyi ikufotokoza mwachidule zolakwika zomwe zimafala kwambiri pakuphimba ndi njira zothanirana ndi uinjiniya.
1. Kukhuthala kwa Filimu Yosafanana
Zomwe Zimayambitsa:
Geometry yolakwika kuchokera ku cholinga kupita ku substrate
Kusayenda bwino kwa substrate (kuzungulira, kuyenda kwa mapulaneti, kapena mayendedwe olunjika)
Kuchuluka kwa plasma m'malo akuluakulu
Mayankho Aukadaulo:
Konzani kapangidwe ka cathode/target array kuti mugawire bwino angular
Limbikitsani zomangira za substrate ndi kuwongolera mayendedwe kuti mubwezeretse kusintha kwa malo
Konzani bwino kuthamanga kwa ntchito, kugawa mphamvu, ndi kasinthidwe ka mphamvu ya maginito
2. Kusagwira bwino ntchito / Kusasintha kwa mafilimu
Zomwe Zimayambitsa:
Malo odetsedwa a substrate (mafuta otsala, chinyezi, kapena ma oxides achilengedwe)
Kupsinjika kwakukulu mkati mwa gawo losungidwa
Kusowa kwa ma interlayer olimbikitsa kumatirira
Mayankho Aukadaulo:
Limbitsani chithandizo cha substrate chisanachitike: kuyeretsa kwa ultrasound, plasma etching, kapena ion bombardment
Sinthani mphamvu yamagetsi ndi kutentha kwa substrate kuti muchepetse kupsinjika
Ikani zigawo zomatira zapakati monga Ti kapena Cr kuti muwongolere mgwirizano wa filimu ndi substrate
3. Mabowo ndi Kuipitsidwa kwa Tinthu
Zomwe Zimayambitsa:
Kuipitsidwa kwa tinthu tating'onoting'ono mkati mwa chipinda chotsukira mpweya
Kugundana kwa malo ozungulira kapena kuphulika kwa pamwamba pa nthaka panthawi yotulutsa madzi
Kubwerera m'mbuyo kwa nthunzi ya mafuta kuchokera ku makina opopera
Mayankho Aukadaulo:
Sungani njira zoyendetsera ndi kunyamula zinthu m'chipinda choyera
Gwiritsani ntchito malovu oyera kwambiri komanso ogwirizana bwino kuti muchepetse kulavulira ndi kutulutsa ziphuphu
Konzani mapampu nthawi zonse ndikuyika ma trap amafuta kapena ma cryogenic baffles kuti mupewe kuipitsidwa
4. Kulephera Kusweka kapena Kulephera Kupsinjika ndi Filimu
Zomwe Zimayambitsa:
Kupsinjika kwakukulu kwamkati mwa zophimba zokhuthala
Kusagwirizana kwa kutentha pakati pa zokutira ndi substrate
Kutentha/kuzizira mwachangu komwe kumayambitsa kugwedezeka kwa kutentha
Mayankho Aukadaulo:
Control makulidwe a filimu ndi kuchuluka kwa ma deposition kuti muchepetse kupsinjika
Pangani zokutira zokhala ndi zigawo zambiri kapena zoyezera kuti muchepetse kupsinjika maganizo
Gwiritsani ntchito kukwera kwa kutentha kolamulidwa panthawi ya ndondomekoyi
5. Kusintha kwa Mtundu ndi Kusasinthasintha kwa Kuwala
Zomwe Zimayambitsa:
Kupatuka kwa makulidwe mu zophimba zosokoneza kuwala
Kuyenda kwa mpweya wosinthika kosakhazikika panthawi yotulutsa mpweya wosinthika (O₂, N₂, ndi zina zotero)
Kusinthasintha kwa magetsi kapena kusakhazikika kwa arc
Mayankho Aukadaulo:
Gwiritsani ntchito njira zowunikira zomwe zili mkati mwa malo (zowunikira za quartz crystal, zowunikira za kuwala)
Limbitsani kuyenda kwa mpweya pogwiritsa ntchito zida zowongolera kuyenda kwa mpweya (MFCs)
Onetsetsani kuti magetsi akuyenda bwino komanso kuti akuyenda bwino pogwiritsa ntchito njira yochepetsera mphamvu ya arc komanso njira yowongolera mayankho.
Mapeto
Ubwino wa chophimba cha vacuum umadalira kwambiri kukonzekera kwa substrate, magawo a njira, malo okhala m'chipinda, komanso kukhazikika kwa zida. Mwa kuthana ndi zolakwika zomwe zili pamwambapa pogwiritsa ntchito njira zopangira uinjiniya, opanga amatha kukwaniritsa izi:
Kufanana kwapamwamba kwa filimu
Kumamatira mwamphamvu komanso kulimba
Kuberekanso kwakukulu m'magulu opanga
Pomaliza, kuwongolera bwino zolakwika kumatsimikizira kuti zinthu zophimbidwa ndi vacuum zikukwaniritsa zofunikira zolimba za mafakitale a optics, magalimoto, zamagetsi, ndi zamankhwala.
—Nkhaniyi yafalitsidwa ndi zida zophikira zotsukirawopanga Zhenhua Vacuum
Nthawi yotumizira: Sep-20-2025
