Bl-iżvilupp dejjem jikber tat-teknoloġija tal-kisi bl-isputtering, speċjalment it-teknoloġija tal-kisi bl-isputtering bil-manjetron, fil-preżent, kwalunkwe materjal jista' jiġi ppreparat permezz ta' film fil-mira permezz ta' bumbardament joniku. Minħabba li l-mira tiġi sputterizzata fil-proċess tal-kisi fuq xi tip ta' sottostrat, il-kwalità tal-film sputterizzat għandha impatt importanti, għalhekk, ir-rekwiżiti tal-materjal fil-mira huma wkoll aktar stretti. Fl-għażla tal-materjal fil-mira, minbarra l-użu tal-film innifsu, għandhom jiġu kkunsidrati wkoll il-kwistjonijiet li ġejjin:
1. Il-materjal fil-mira għandu jkollu saħħa mekkanika tajba u stabbiltà kimika wara l-formazzjoni tal-film
2. Il-kombinazzjoni tal-mira u s-sottostrat għandha tkun b'saħħitha, inkella għandha tittieħed bis-sottostrat li għandu kombinazzjoni tajba ta' materjal tal-membrana, l-ewwel tisprejja film bażi u mbagħad tipprepara s-saff tal-membrana meħtieġ.
3 bħala materjal tal-membrana tal-isputtering ta' reazzjoni għandu jkun faċli biex jirreaġixxi mal-gass biex jiġġenera komposti tal-membrana; 4.
4. Taħt il-premessa li jintlaħqu r-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-membrana, id-differenza bejn il-koeffiċjent tal-espansjoni termali tal-materjal fil-mira u s-sottostrat hija żgħira kemm jista' jkun, sabiex jiġi minimizzat l-effett tal-istress termali fuq il-membrana sputtered.
L-influwenza tal-istress termali tal-film tal-isputtering; 5.
5. Skont l-użu u r-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-membrana, il-materjal fil-mira għandu jissodisfa l-purità, il-kontenut ta' impurità, l-uniformità tal-komponenti, l-eżattezza tal-magni u rekwiżiti tekniċi oħra.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 21 ta' Diċembru 2023