Aliran kerja penyalut optik biasanya termasuk langkah utama berikut: prarawatan, penyalut, pemantauan dan pelarasan filem, penyejukan dan penyingkiran. Proses khusus mungkin berbeza-beza bergantung pada jenis peralatan (seperti penyalut penyejatan, penyalut sputtering, dsb.) dan proses penyalutan (seperti filem lapisan tunggal, filem berbilang lapisan, dsb.), tetapi secara amnya, proses penyalut optik adalah kira-kira seperti berikut:
Pertama, peringkat penyediaan
Pembersihan dan penyediaan komponen optik:
Sebelum menyalut, komponen optik (seperti kanta, penapis, kaca optik, dll.) perlu dibersihkan dengan teliti. Langkah ini adalah asas untuk memastikan kualiti salutan. Kaedah pembersihan yang biasa digunakan termasuk pembersihan ultrasonik, penjerukan, pembersihan wap dan sebagainya.
Unsur optik yang bersih biasanya diletakkan pada peranti berputar atau sistem pengapit mesin salutan untuk memastikan ia boleh kekal stabil semasa proses salutan.
Prarawatan kebuk vakum:
Sebelum meletakkan elemen optik ke dalam mesin salutan, ruang salutan perlu dipam ke tahap vakum tertentu. Persekitaran vakum dengan berkesan boleh mengeluarkan kekotoran, oksigen dan wap air di udara, menghalangnya daripada bertindak balas dengan bahan salutan, dan memastikan ketulenan dan kualiti filem.
Secara amnya, ruang salutan perlu mencapai vakum tinggi (10⁻⁵ hingga 10⁻⁶ Pa) atau vakum sederhana (10⁻³ hingga 10⁻⁴ Pa).
Kedua, proses salutan
Memulakan sumber salutan:
Punca salutan biasanya sumber penyejatan atau punca percikan. Sumber salutan yang berbeza akan dipilih mengikut proses salutan dan bahan.
Sumber penyejatan: Bahan salutan dipanaskan kepada keadaan penyejatan menggunakan peranti pemanasan, seperti penyejat rasuk elektron atau penyejat pemanasan rintangan, supaya molekul atau atomnya tersejat dan dimendapkan pada permukaan unsur optik dalam vakum.
Sumber percikan: Dengan menggunakan voltan tinggi, sasaran berlanggar dengan ion, memercikkan atom atau molekul sasaran, yang dimendapkan pada permukaan elemen optik untuk membentuk filem.
Pemendapan bahan filem:
Dalam persekitaran vakum, bahan bersalut menyejat atau terpercik dari sumber (seperti sumber penyejatan atau sasaran) dan secara beransur-ansur memendap ke permukaan elemen optik.
Kadar pemendapan dan ketebalan filem perlu dikawal dengan tepat untuk memastikan lapisan filem adalah seragam, berterusan, dan memenuhi keperluan reka bentuk. Parameter semasa pemendapan (seperti arus, aliran gas, suhu, dll.) akan menjejaskan kualiti filem secara langsung.
Pemantauan filem dan kawalan ketebalan:
Dalam proses salutan, ketebalan dan kualiti filem biasanya dipantau dalam masa nyata, dan alat pemantauan yang biasa digunakan ialah imbangan mikro kristal kuarza (QCM) ** dan sensor lain, yang dapat mengesan kadar pemendapan dan ketebalan filem dengan tepat.
Berdasarkan data pemantauan ini, sistem boleh melaraskan parameter secara automatik seperti kuasa sumber salutan, kadar aliran gas atau kelajuan putaran komponen untuk mengekalkan ketekalan dan keseragaman lapisan filem.
Filem berbilang lapisan (jika perlu):
Bagi komponen optik yang memerlukan struktur multilayer, proses salutan biasanya dijalankan lapisan demi lapisan. Selepas pemendapan setiap lapisan, sistem akan menjalankan pengesanan dan pelarasan ketebalan filem berulang untuk memastikan kualiti setiap lapisan filem memenuhi keperluan reka bentuk.
Proses ini memerlukan kawalan tepat ketebalan dan jenis bahan setiap lapisan untuk memastikan setiap lapisan boleh melaksanakan fungsi seperti pantulan, penghantaran atau gangguan dalam julat panjang gelombang tertentu.
Ketiga, sejukkan dan keluarkan
CD:
Selepas salutan selesai, optik dan mesin salutan perlu disejukkan. Memandangkan peralatan dan komponen boleh menjadi panas semasa proses salutan, ia perlu disejukkan ke suhu bilik dengan sistem penyejukan, seperti air penyejuk atau aliran udara, untuk mengelakkan kerosakan haba.
Dalam sesetengah proses salutan suhu tinggi, penyejukan bukan sahaja melindungi elemen optik, tetapi juga membolehkan filem mencapai lekatan dan kestabilan yang optimum.
Keluarkan elemen optik:
Selepas penyejukan selesai, elemen optik boleh dikeluarkan dari mesin salutan.
Sebelum mengeluarkan, adalah perlu untuk memeriksa kesan salutan, termasuk keseragaman lapisan filem, ketebalan filem, lekatan, dan lain-lain, untuk memastikan kualiti salutan memenuhi keperluan.
4. Pasca pemprosesan (pilihan)
Pengerasan filem:
Kadangkala filem bersalut perlu dikeraskan untuk meningkatkan rintangan calar dan ketahanan filem. Ini biasanya dilakukan dengan cara seperti rawatan haba atau sinaran ultraungu.
Pembersihan filem:
Untuk mengeluarkan bahan cemar, minyak atau kekotoran lain dari permukaan filem, mungkin perlu melakukan pembersihan kecil, seperti pembersihan, rawatan ultrasonik, dsb.
5. Pemeriksaan dan ujian kualiti
Ujian prestasi optik: Selepas salutan selesai, satu siri ujian prestasi dijalankan pada komponen optik, termasuk penghantaran cahaya, pemantulan, keseragaman filem, dll., untuk memastikan ia memenuhi keperluan teknikal.
Ujian lekatan: Dengan ujian pita atau ujian calar, periksa sama ada lekatan antara filem dan substrat adalah kuat.
Ujian kestabilan alam sekitar: Kadangkala adalah perlu untuk menjalankan ujian kestabilan di bawah keadaan persekitaran seperti suhu, kelembapan dan cahaya ultraungu untuk memastikan kebolehpercayaan lapisan salutan dalam aplikasi praktikal.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jan-24-2025