स्पटरिंग व्हॅक्यूम कोटर हे एक उपकरण आहे जे सब्सट्रेटवर पातळ थर जमा करण्यासाठी वापरले जाते. ही प्रक्रिया सामान्यतः सेमीकंडक्टर, सौर पेशी आणि ऑप्टिकल आणि इलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोगांसाठी विविध प्रकारच्या कोटिंग्जच्या निर्मितीमध्ये वापरली जाते. ते कसे कार्य करते याचा एक मूलभूत आढावा येथे आहे:
१. व्हॅक्यूम चेंबर: ही प्रक्रिया व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये होते ज्यामुळे दूषितता कमी होते आणि जमा होण्याच्या प्रक्रियेवर चांगले नियंत्रण मिळते.
२. लक्ष्यित साहित्य: ज्या सामग्रीला जमा करायचे आहे त्याला लक्ष्य म्हणतात. हे व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये ठेवले जाते.
३. सब्सट्रेट: सब्सट्रेट म्हणजे असा पदार्थ ज्यावर पातळ थर जमा केला जाईल. तो व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये देखील ठेवला जातो.
४. प्लाझ्मा निर्मिती: एक निष्क्रिय वायू, सामान्यतः आर्गॉन, चेंबरमध्ये आणला जातो. लक्ष्यावर उच्च व्होल्टेज लागू केला जातो, ज्यामुळे प्लाझ्मा (मुक्त इलेक्ट्रॉन आणि आयनांनी बनलेली पदार्थाची स्थिती) तयार होते.
५. थुंकणे: प्लाझ्मामधील आयन लक्ष्यित पदार्थाशी टक्कर देतात, ज्यामुळे अणू किंवा रेणू लक्ष्यापासून दूर जातात. हे कण नंतर व्हॅक्यूममधून प्रवास करतात आणि सब्सट्रेटवर जमा होतात, ज्यामुळे एक पातळ थर तयार होतो.
६.नियंत्रण: लक्ष्यावर लावण्यात येणारी शक्ती, निष्क्रिय वायूचा दाब आणि थुंकण्याच्या प्रक्रियेचा कालावधी यासारख्या पॅरामीटर्स समायोजित करून फिल्मची जाडी आणि रचना अचूकपणे नियंत्रित केली जाऊ शकते.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: जुलै-१२-२०२४