Шүршигч вакуум бүрээс нь нимгэн хальсыг субстрат дээр буулгахад ашигладаг төхөөрөмж юм. Энэ процессыг ихэвчлэн хагас дамжуулагч, нарны зай, оптик болон электрон хэрэглээний төрөл бүрийн бүрээс үйлдвэрлэхэд ашигладаг. Энэ нь хэрхэн ажилладаг тухай үндсэн тоймыг эндээс үзнэ үү:
1.Вакуум камер: Бохирдлыг багасгаж, хуримтлуулах процессыг илүү сайн хянах боломжийг олгохын тулд процесс нь вакуум камер дотор явагддаг.
2. Зорилтот материал: Хадгалах материалыг зорилтот гэж нэрлэдэг. Үүнийг вакуум камер дотор байрлуулна.
3.Субстрат: Субстрат нь нимгэн хальсыг түрхэх материал юм. Энэ нь мөн вакуум камер дотор байрладаг.
4. Плазмын үүсэлт: Инерцийн хий, ихэвчлэн аргоныг камерт оруулна. Зорилтот дээр өндөр хүчдэл өгч, плазм (чөлөөт электрон ба ионуудаас бүрдэх бодисын төлөв) үүсгэдэг.
5.Цэвэрлэх: Цусны сийвэн дэх ионууд зорилтот материалтай мөргөлдөж, атом эсвэл молекулуудыг байнаасаа унагадаг. Дараа нь эдгээр тоосонцор вакуумаар дамжиж, субстрат дээр хуримтлагдаж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
6.Хяналт: Зорилтот хүчин чадал, идэвхгүй хийн даралт, шүрших үйл явцын үргэлжлэх хугацаа зэрэг параметрүүдийг тохируулах замаар хальсны зузаан, найрлагыг нарийн хянах боломжтой.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 7-р сарын 12