ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ഉപകരണമാണ് സ്പട്ടറിംഗ് വാക്വം കോട്ടർ. അർദ്ധചാലകങ്ങൾ, സോളാർ സെല്ലുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ, ഇലക്ട്രോണിക് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായുള്ള വിവിധ തരം കോട്ടിംഗുകൾ എന്നിവയുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ ഈ പ്രക്രിയ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇത് എങ്ങനെ പ്രവർത്തിക്കുന്നു എന്നതിന്റെ ഒരു അടിസ്ഥാന അവലോകനം ഇതാ:
1. വാക്വം ചേമ്പർ: മലിനീകരണം കുറയ്ക്കുന്നതിനും നിക്ഷേപ പ്രക്രിയയിൽ മികച്ച നിയന്ത്രണം അനുവദിക്കുന്നതിനുമായി ഒരു വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിൽ ഈ പ്രക്രിയ നടക്കുന്നു.
2. ലക്ഷ്യ വസ്തു: നിക്ഷേപിക്കേണ്ട വസ്തു ലക്ഷ്യം എന്നറിയപ്പെടുന്നു. ഇത് വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു.
3. സബ്സ്ട്രേറ്റ്: നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപിക്കപ്പെടുന്ന വസ്തുവാണ് സബ്സ്ട്രേറ്റ്. ഇത് വാക്വം ചേമ്പറിനുള്ളിലും സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു.
4. പ്ലാസ്മ ജനറേഷൻ: ഒരു നിഷ്ക്രിയ വാതകം, സാധാരണയായി ആർഗോൺ, ചേമ്പറിലേക്ക് കൊണ്ടുവരുന്നു. ലക്ഷ്യത്തിലേക്ക് ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പ്രയോഗിക്കുന്നതിലൂടെ ഒരു പ്ലാസ്മ (സ്വതന്ത്ര ഇലക്ട്രോണുകളും അയോണുകളും അടങ്ങിയ ദ്രവ്യത്തിന്റെ അവസ്ഥ) സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്നു.
5. സ്പട്ടറിംഗ്: പ്ലാസ്മയിൽ നിന്നുള്ള അയോണുകൾ ലക്ഷ്യ വസ്തുവുമായി കൂട്ടിയിടിച്ച് ആറ്റങ്ങളെയോ തന്മാത്രകളെയോ ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് തട്ടിമാറ്റുന്നു. ഈ കണികകൾ പിന്നീട് വാക്വം വഴി സഞ്ചരിച്ച് അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുകയും ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.
6. നിയന്ത്രണം: ലക്ഷ്യത്തിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന പവർ, നിഷ്ക്രിയ വാതകത്തിന്റെ മർദ്ദം, സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ ദൈർഘ്യം തുടങ്ങിയ പാരാമീറ്ററുകൾ ക്രമീകരിച്ചുകൊണ്ട് ഫിലിമിന്റെ കനവും ഘടനയും കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: ജൂലൈ-12-2024